ソース 走査型イオン銃 IS40E1
北野精機株式会社
この製品について
■概要
40E1イオン銃は、2段の出射レンズを採用した収束型イオン銃です。2段の出射レンズによって、スポットサイズと加速電圧 (0.15eV～5keV) が簡単に可変出来ます。この場合ビーム電流値は250μA/cm2となります。他の製品との干渉を避けるためイオン銃先端が50ºのテーパー状に絞られています。 このイオン銃のフィラメントの取付位置は銃内部の汚染を避けるため、試料表面への入射イオンビームのラインに対してオフアクシスに設計されています。これにより長寿命で調整のいらないイオン銃が実現いたしました。イットリウムがコーティングされたイリジュウム フィラメントは他のカソードより低い温度で動作します。 また酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスの導入が可能となります。走査範囲はワーキング距離が23mmの位置で、10×10mmとなり均一なスパッターが出来ます。これによって、深さ方向の分析が正確に出来ます。■特徴
・フルソフトウエア操作 ・2段の差動排気 ・酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスに対しても使用可能 ・超高真空下でイオン銃の操作が可能 ・ウインマスフィルターの装着が可能 ・2段出射レンズによりイオンビームのスポット径が容易に調整可能-
シリーズ
ソース 走査型イオン銃 IS40E1
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取扱企業
北野精機株式会社
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カテゴリ
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ソース 走査型イオン銃 IS40E1 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電流密度 | 加速電圧 | ワーキング距離 | 最小スポットサイズ | 取付フランジ | 真空内ソース長 | 走査範囲 | ベイク温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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IS40E1 |
要見積もり | 250μA/cm2 | 0.15~5keV | 23~100mm | 0.6mm | DN40CF (回転) | 163mm (標準) | 試料上で10×10mm | 250℃以下 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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この商品の取り扱い会社情報
- 本社所在地: 東京都