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ソース 走査型イオン銃 IS40E1-IS40E1
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■概要

40E1イオン銃は、2段の出射レンズを採用した収束型イオン銃です。2段の出射レンズによって、スポットサイズと加速電圧 (0.15eV～5keV) が簡単に可変出来ます。この場合ビーム電流値は250μA/cm2となります。他の製品との干渉を避けるためイオン銃先端が50ºのテーパー状に絞られています。 このイオン銃のフィラメントの取付位置は銃内部の汚染を避けるため、試料表面への入射イオンビームのラインに対してオフアクシスに設計されています。これにより長寿命で調整のいらないイオン銃が実現いたしました。イットリウムがコーティングされたイリジュウム フィラメントは他のカソードより低い温度で動作します。 また酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスの導入が可能となります。走査範囲はワーキング距離が23mmの位置で、10×10mmとなり均一なスパッターが出来ます。これによって、深さ方向の分析が正確に出来ます。

■特徴

・フルソフトウエア操作 ・2段の差動排気 ・酸素、水素、ハイドロカーボンのような活性ガスに対しても使用可能 ・超高真空下でイオン銃の操作が可能 ・ウインマスフィルターの装着が可能 ・2段出射レンズによりイオンビームのスポット径が容易に調整可能

  • シリーズ

    ソース 走査型イオン銃 IS40E1

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ソース 走査型イオン銃 IS40E1 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 電流密度 加速電圧 ワーキング距離 最小スポットサイズ 取付フランジ 真空内ソース長 走査範囲 ベイク温度
ソース 走査型イオン銃 IS40E1-品番-IS40E1

IS40E1

要見積もり

250μA/cm2

0.15~5keV

23~100mm

0.6mm

DN40CF (回転)

163mm (標準)

試料上で10×10mm

250℃以下

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