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■概要

実験用のスパッタ装置です。4インチの円形マグネトロンカソードを最大4個搭載可能です。お客様の要求性能、ご予算に合わせた最適な装置をご提案いたします。

  • シリーズ

    RFスパッタ装置

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RFスパッタ装置 品番1件

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会社概要

株式会社MPSは、2004年に設立した、電子ビーム溶接をはじめとする真空機器の製造・販売をしている会社です。 主な事業内容は、電子ビーム溶接機、成膜装置、真空装置用コンポーネントの製造・販売になります。 真空機器や溶接...

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  • 本社所在地: 千葉県

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