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ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月9日にレビュー済み
顧客対応への満足度
迅速な回答、説明があった。
初回対応までの時間への満足度
27.47時間
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スパッタリング装置の製品75点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 処理方式 | 排気ポンプ | 設置寸法 | 装置重量 | 電源容量 | カソード | 基板トレイ φ3 | 基板トレイ φ4 | 成膜有効範囲 φ3 | 成膜有効範囲 φ4 | 軸数 φ3用 | 軸数 φ4用 | ウエハ枚数 φ3用 | ウエハ枚数 φ4用 | 膜厚分布 トレイ内 | 膜厚分布 トレイ間 | 処理バッチ数 φ3 | 処理バッチ数 φ4 | 処理枚数 φ3 | 処理枚数 φ4 | 到達圧力 | 排気時間 仕込・取出室 | 基板加熱温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SPC-2507 |
要見積もり |
(株) 昭和真空 |
ロードロック式カルーセル型 |
油回転ポンプ+クライオポンプ |
W1,280mm×D1,150mm×H1,873mm |
1,500kg |
AC200~220V/17kVA (50A) |
5インチ×7インチ 2式 |
トレイW90mm×L200mm |
トレイW120×L200mm |
トレイW75mm |
トレイW100mm |
12軸 |
9軸 |
12枚 |
9枚 |
±2％ |
±2％ |
42バッチ/日 (22時間稼働想定) |
47バッチ/日 (22時間稼働想定) |
512枚/日 (22時間稼働想定) |
424枚/日 (22時間稼働想定) |
1.0×10-3Pa以下 (全室排気) |
1.0×101Paまで2分以内 |
150℃以上を確認 |
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
