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ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです
4.5
評判がとても良い
2024年9月6日にレビュー
迅速な回答、説明があった。
初回返答までの時間・27.47時間2025年8月4日にレビュー
即日、翌日応答は頂けませんでしたが、ご返答内容も適切な対応でした。ありがとうございました。
初回返答までの時間・16.27時間もっと見る
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 処理方式 | 排気ポンプ | 設置寸法 | 装置重量 | 電源容量 | カソード | 基板トレイ φ3 | 基板トレイ φ4 | 成膜有効範囲 φ3 | 成膜有効範囲 φ4 | 軸数 φ3用 | 軸数 φ4用 | ウエハ枚数 φ3用 | ウエハ枚数 φ4用 | 膜厚分布 トレイ内 | 膜厚分布 トレイ間 | 処理バッチ数 φ3 | 処理バッチ数 φ4 | 処理枚数 φ3 | 処理枚数 φ4 | 到達圧力 | 排気時間 仕込・取出室 | 基板加熱温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SPC-2507 |
要見積もり |
(株) 昭和真空 |
ロードロック式カルーセル型 |
油回転ポンプ+クライオポンプ |
W1,280mm×D1,150mm×H1,873mm |
1,500kg |
AC200~220V/17kVA (50A) |
5インチ×7インチ 2式 |
トレイW90mm×L200mm |
トレイW120×L200mm |
トレイW75mm |
トレイW100mm |
12軸 |
9軸 |
12枚 |
9枚 |
±2％ |
±2％ |
42バッチ/日 (22時間稼働想定) |
47バッチ/日 (22時間稼働想定) |
512枚/日 (22時間稼働想定) |
424枚/日 (22時間稼働想定) |
1.0×10-3Pa以下 (全室排気) |
1.0×101Paまで2分以内 |
150℃以上を確認 |
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
