ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507 三弘エマテック株式会社
三弘エマテック株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
44.4時間
この製品について
■製品説明
二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタ装置です。■用途
各種電子部品への電極用金属膜の形成■オプション
・パワー変調機能 ・回転方式の膜厚分布調整用 ・カソード (3源目)■特徴
基板回転・反転機構において、マグネットによる非接触動力伝達方式 (マグトラン) を採用。低温成膜：130℃以下で低温成膜が可能になることによりCrの拡散防止対策などにも有効です。 (プラズマに晒されている時間が短いため低温成膜が可能)-
シリーズ
ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507
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取扱企業
三弘エマテック株式会社
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返答率96%以上
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ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 処理方式 | 排気ポンプ | 設置寸法 | 装置重量 | 電源容量 | カソード | 基板トレイ φ3 | 基板トレイ φ4 | 成膜有効範囲 φ3 | 成膜有効範囲 φ4 | 軸数 φ3用 | 軸数 φ4用 | ウエハ枚数 φ3用 | ウエハ枚数 φ4用 | 膜厚分布 トレイ内 | 膜厚分布 トレイ間 | 処理バッチ数 φ3 | 処理バッチ数 φ4 | 処理枚数 φ3 | 処理枚数 φ4 | 到達圧力 | 排気時間 仕込・取出室 | 基板加熱温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SPC-2507 |
要見積もり | (株) 昭和真空 | ロードロック式カルーセル型 | 油回転ポンプ+クライオポンプ | W1,280mm×D1,150mm×H1,873mm | 1,500kg | AC200~220V/17kVA (50A) | 5インチ×7インチ 2式 | トレイW90mm×L200mm | トレイW120×L200mm | トレイW75mm | トレイW100mm | 12軸 | 9軸 | 12枚 | 9枚 | ±2％ | ±2％ | 42バッチ/日 (22時間稼働想定) | 47バッチ/日 (22時間稼働想定) | 512枚/日 (22時間稼働想定) | 424枚/日 (22時間稼働想定) | 1.0×10-3Pa以下 (全室排気) | 1.0×101Paまで2分以内 | 150℃以上を確認 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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