制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
返答率
100.0%
返答時間
162.9時間
シリーズ
薄膜形成装置 超高真空スパッタリング装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
もっと見る
スパッタリング装置の製品125点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理基板 | 装置構成 / ロードロック室 | 装置構成 / カセット室 | 装置構成 / 搬送室 | 装置構成 / スパッタ室 | カソード仕様 | スパッタ方向 | プロセス性能 / 膜厚分布 | プロセス性能 / エッチング分布 | プロセス性能 / 基板加熱 | 各室到達压力 / ロードロック室 | 各室到達压力 / カセット室 | 各室到達压力 / 搬送室 | 各室到達压力 / スパッタ室 | 操作方法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
STM2323 |
要見積もり |
最大¢100mm |
1室 |
1室 |
1室 |
3室 |
RMC |
ダウン |
±5%以内 (¢65) |
±10%以内 (¢65) |
500℃ |
8.0 x 10-⁶Pa以下 |
4.0 x 10-⁶Pa以下 |
1.0 x 10-⁷Pa以下 |
1.0 x 10-⁶Pa以下 |
全自動CtoC方式 |
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
