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スパッタリング装置の製品75点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理基板 | 装置構成 / ロードロック室 | 装置構成 / カセット室 | 装置構成 / 搬送室 | 装置構成 / スパッタ室 | カソード仕様 | スパッタ方向 | プロセス性能 / 膜厚分布 | プロセス性能 / エッチング分布 | プロセス性能 / 基板加熱 | 各室到達压力 / ロードロック室 | 各室到達压力 / カセット室 | 各室到達压力 / 搬送室 | 各室到達压力 / スパッタ室 | 操作方法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
STM2323 |
要見積もり |
最大¢100mm |
1室 |
1室 |
1室 |
3室 |
RMC |
ダウン |
±5%以内 (¢65) |
±10%以内 (¢65) |
500℃ |
8.0 x 10-⁶Pa以下 |
4.0 x 10-⁶Pa以下 |
1.0 x 10-⁷Pa以下 |
1.0 x 10-⁶Pa以下 |
全自動CtoC方式 |
