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薄膜形成装置 インラインスパッタリング装置-インラインスパッタリング装置
薄膜形成装置 インラインスパッタリング装置-神港精機株式会社

薄膜形成装置 インラインスパッタリング装置
神港精機株式会社

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この製品について

ガラス基板を対象とした通過成膜型インラインタイプのスパッタリング装置です。 矩形カソードを多元で装備しておりプロセスや生産数に合わせて、成膜室、加熱室、冷却室等の組み合わせを任意に選択できます。 大型基板に均一な膜厚分布性能を持ち、安定した量産プロセスを実現します。 【特徴】 目的にあわせ実績機種より個別要求に柔軟に対応いたします。 高効率矩形カソードを装備しており、長期間安定した性能を実現します

  • シリーズ

    薄膜形成装置 インラインスパッタリング装置

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薄膜形成装置 インラインスパッタリング装置 品番1件

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薄膜形成装置 インラインスパッタリング装置-品番-インラインスパッタリング装置

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神港精機株式会社

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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  • 本社所在地: 兵庫県

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