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メタルモードスパッタ装置 NSC-2350取扱企業
株式会社オプトランカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 真空チャンバ LL室 | 真空チャンバ UL室 | 真空チャンバ 搬送室 | 真空チャンバ PR室 | 基板ホルダ | 基板回転機構 | 反応源 | スパッタ源 | 排気システム | 到達圧力 LL室 | 到達圧力 PR室 | 排気時間 LL室 | 排気時間 PR室 |
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NSC-2350 |
要見積もり |
SUS304、W700 × H1,860mm × D1,760mm |
W700 × H1,860 × D1,760mm |
W660 × H1,860 × D1,760mm |
SUS304、φ2,350 × H1,950mm |
15 枚~ 22 枚選択可能 |
φ2,245mm ドラム式、 10rpm ~ 50rpm (可変) |
ICP (誘導結合プラズマ) |
デュアルカソード、ロータリ式 (平板式Option) |
あらびきポンプ、ターボ分子ポンプ、マイスナーチラー |
10Pa |
2.0 × 10^-4 Pa以下 |
8 分 (大気から10Pa まで) |
40 分 (大気から9.0 × 10^-4Pa まで) |
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