制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
もっと見る
スパッタリング装置の製品122点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気速度 | 成膜室径 | スパッタ用電源 | 基板形状 | 膜厚分布 | ターゲット寸法 | ターゲット個数 | 基板回転 | 基板加熱 | 真空排気系 | 操作方法 | ガス系統 | ユーティリティ 動力 | ユーティリティ 冷却水 | ユーティリティ 計装エアー | ユーティリティ 寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
SP-31000R (2390) |
要見積もり |
×10-5Pa台※常温・無負荷・脱ガス時 |
×10-4Pa台迄10分以内※常温・無負荷・脱ガス時 |
φ540mm×250mmH |
RF電源 13.56MHz 1kW 自動マッチング 1台 |
5インチ 1枚 |
±10%以内 |
6インチ (金属・絶縁物) |
3 |
無し |
常温~200℃迄昇温可能 |
油回転ポンプ：900L/min |
自動 |
マスフローコントローラ 1系統 |
AC200V三相15kVA |
8L/min以上0.1MPa以上0.15MPa以下25℃以下循環 |
0.5MPa以上 |
4,000mmW×2,000mmD×1,800mmH |
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
