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射出成型機連動型高速スパッタ・重合システム SPP Series取扱企業
株式会社昭和真空カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気ポンプ | 設置寸法 | 重量 | 電源容量 | 最大基板寸法 | 基板材質 | スパッタレート | 重合rate | 排気速度 | 生産サイクルタイム | 膜性能 | ポンプ構成 | SP室+重合室 | スパッタ室 | 重合室 | スパッタ材料 | 重合ガス | オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SPP Series |
要見積もり |
スパッタ室:RP+MBP+TMP 重合室:RP+MBP (TMPオプション) |
W4,000mm×D4,500mm×H2,400mm |
4,600kg |
AC200~220V 約85kVA |
W250×L500×D150mm |
PC、PET、PP、PEなど |
10nm/sec以上 (Al) |
1nm/sec |
0.1Paまで40sec (スパッタ室) 、10Paまで40sec (重合室) |
基板投入から成膜、重合、取出しまで約100秒以下 |
反射率85%以上、KOH 1% 10min |
スパッタ室:RP+MBP+TMP、重合室:RP+MBP (TMPオプション) |
2室構成 |
ハイレートカソード (ターゲットサイズ540×240mm) 、40kW DC電源 |
グロー放電式重合電極×1 1kW RF電源 |
Al等 |
HMDSO (SiOx用) 等 |
基板回転機構 |
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