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カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC-SPP-155TC
カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC-株式会社昭和真空

カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC
株式会社昭和真空



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この製品について

■小ロット・短いサイクルタイムで回せるスパッタリング装置

本装置は大型の製品にスパッタ・重合成膜が可能にもかかわらずハイサイクル稼働を実現したバッチ式の装置です。製品の品質や歩留まりを上げたい生産現場に貢献します。

■用途・応用例

装飾膜のコーティング

■製品例

自動車内装部品、自動車ヘッドランプリフレクター 特長

■短いサイクルタイム (1サイクル/約4分)

120kW電源の搭載によるハイレートと、ポンプ3式の高速排気により実現

■大型基板の対応

基板設置エリアがΦ500mm×H1,200mmと広いため大型基板に成膜可能

■自動化で作業効率UP

真空槽扉の開閉及びスパッタカソードの開閉の自動化対応可能

  • シリーズ

    カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC

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カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気ポンプ 設置寸法 重量 電源容量 真空槽サイズ 対応ワークサイズ 対応ワーク材質 プロセスガス 排気時間 サイクルタイム 自動運転範囲 粗引き カソード スパッタ材料 スパッタ電源 重合機構 重合電源
カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC-品番-SPP-155TC

SPP-155TC

要見積もり

主排気:TMP×2+CRYO×1 粗引き:RP×1+MBP×1

W4,000mm×D4,000mm×H2,700mm

6,200kg

AC200~220V/約160kVA

□850mm×H1,800mm

Φ600mm×H1,200mm

PC, PET, PP, PEなど

O2→前処理用、後処理用 Ar→スパッタ用、HMDSO→前処理用、重合用

2.0×10-2Paまで3分以内

4分/1サイクル (参考値)

真空排気→前処理 (O2プラズマ) →スパッタ (金属) →
重合 (SiOx) →後処理 (親水化等) →ベント

油回転ポンプ×1+メカニカルブースターポンプ×1

6×55インチマグネトロンカソード

Al、SUSなど

80kW DC電源×1式 (20kW電源×4台直列)

バー電極 (前処理、重合、後処理用)

10kW MF電源

フィルターから探す

スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場(現在は東証スタンダード市場)を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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