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カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC取扱企業
株式会社昭和真空カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気ポンプ | 設置寸法 | 重量 | 電源容量 | 真空槽サイズ | 対応ワークサイズ | 対応ワーク材質 | プロセスガス | 排気時間 | サイクルタイム | 自動運転範囲 | 粗引き | カソード | スパッタ材料 | スパッタ電源 | 重合機構 | 重合電源 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SPP-155TC |
要見積もり |
主排気:TMP×2+CRYO×1 粗引き:RP×1+MBP×1 |
W4,000mm×D4,000mm×H2,700mm |
6,200kg |
AC200~220V/約160kVA |
□850mm×H1,800mm |
Φ600mm×H1,200mm |
PC, PET, PP, PEなど |
O2→前処理用、後処理用 Ar→スパッタ用、HMDSO→前処理用、重合用 |
2.0×10-2Paまで3分以内 |
4分/1サイクル (参考値) |
真空排気→前処理 (O2プラズマ) →スパッタ (金属) → |
油回転ポンプ×1+メカニカルブースターポンプ×1 |
6×55インチマグネトロンカソード |
Al、SUSなど |
80kW DC電源×1式 (20kW電源×4台直列) |
バー電極 (前処理、重合、後処理用) |
10kW MF電源 |
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