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ロードロック式通過型スパッタリング装置 SPH-2410-Ⅱ取扱企業
株式会社昭和真空カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 排気ポンプ | 設置寸法 | 重量 | 電源容量 | ターゲットサイズ | 処理方式 | カソード | トレイサイズ | 基板搬送方式 | ストッカー | 膜厚分布 | サイクルタイム | 到達圧力 | 排気時間 | 基板加熱温度 | 基板トレイ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SPH-2410-Ⅱ |
要見積もり |
RP+CRYO |
W1,100mm×D3,965mm×H1,280mm |
2,000kg |
AC200~220V (3φ) /35kVA (99A) |
W126mm (5inch) ×H253mm (10inch) ×t6mm |
ロードロック式、通過型 |
5インチ×7インチ 2対 |
L300mm×H±80mm (カソード中心から) |
ラック&ピニオン搬送 |
10トレイ収納 |
トレイ内 ±2% / トレイ間 ±3% |
4min/トレイ ※Ag:150nm (片面) 成膜時 |
仕込/取出室 1.0×10-3Pa以下 SP室 1.0×10-3Pa以下 |
仕込・取出室 2.0×10-2Pa迄 4分以内 |
150℃以上を確認 |
L350mm×H222.5mm |
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