精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1600
ビューラー株式会社

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この製品について

■ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。

■基本情報ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。
搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3％の範囲内で膜厚分布を実現いたします。

■用途／実績例高出力レーザーミラーDWDM,CWDMフィルタ、等