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精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400-IBS1400
精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400-ビューラー株式会社

精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400
ビューラー株式会社

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■ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。

■基本情報

ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3%の範囲内で膜厚分布を実現いたします。

■用途/実績例

高出力レーザーミラーDWDM,CWDMフィルタ、等

  • シリーズ

    精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400

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精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400-品番-IBS1400

IBS1400

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使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

スパッタ方式

DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型

成膜環境

高真空型 中真空型

ターゲット構成

単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型

対象搬送方式

静止基板型 回転基板型 スルーフィード型

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

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会社概要

ビューラーは、世界の安全な食料供給に貢献し、気候変動に取り組み、自動車や建物、
機械のエネルギー効率を高めるためのソリューションを開発しています。
食品およびモビリティ産業のソリューションパートナーとして...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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