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ギンブルマルチコーター AT-903取扱企業
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スパッタリング装置の製品80点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | スパッタリング方式 | ターゲット (別売) | 使用ガス | 到達真空圧 | チャンバー内寸 | 試料ホルダー | 真空排気 | 寸法 | 重量 | 電源 | 揺動角度 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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AT-903 |
要見積もり |
DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧:DC 1500V max、放電電流:DC 50mA max |
Cr、ITO、Cu、Ni、Pt、Au、Mo、Wなどオプションとして各種ターゲットを用意 |
Air、Ar |
10-4Pa以下 |
φ100mm (1ヘッド) 、φ127mm (2ヘッド) |
φ50mm (1ヘッド) 、φ85mm (2ヘッド) |
主排気:ターボ分子ポンプ (本体内蔵) 、補助排気:ダイヤフラムポンプ (外置き) |
本体360W×415D×480H (1ヘッド) 、360W×450D×500H (2ヘッド) 、ダイヤフラムポンプ、145W×223D×217H |
本体 約30kg、ダイヤフラムポンプ 4kg |
AC 100V/200V (出荷時選択) 15A |
0~20° |
スパッタリング装置 をフィルターから探すことができます
スパッタリング装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
スパッタリング方式 が DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧:DC 1500V max、放電電流:DC 50mA max の スパッタリング装置