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ターボマルチコーター AT-901取扱企業
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スパッタリング装置の製品80点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | スパッタリング方式 | ターゲット (別売) | 使用ガス | 到達真空圧 | チャンバー内寸 | 試料ホルダー | 真空排気 | 寸法 | 重量 | 電源 |
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AT-901 |
要見積もり |
DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧:DC 1500V max、放電電流:DC 50mA max |
Cr、Pt、Au、Au-Pdなどオプションとして各種ターゲットを用意 |
Air、Ar |
10-2Pa以下 (スパッタ時1Pa) |
φ100mm |
φ50mm |
主排気:ターボミニポンプ (本体内蔵) 、補助排気:ダイヤフラムポンプ (外置き) |
本体 360W × 417D × 380H |
本体 約20kg、ダイヤフラムポンプ 4kg |
AC 100V/200V (出荷時選択) 5A、15A (別売カーボンコーディングアタッチメント) |
スパッタリング装置 をフィルターから探すことができます
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スパッタリング方式 が DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧:DC 1500V max、放電電流:DC 50mA max の スパッタリング装置