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スパッタリング装置の製品80点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | スパッタリング方式 | ターゲット (別売) | 使用ガス | 到達真空圧 | チャンバー内寸 | 試料ホルダー | 真空排気 | 寸法 | 重量 | 電源 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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AT-ET |
要見積もり |
DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧:DC 1500V max、放電電流:DC 10、20、30、40mAから選択 |
φ30、0.1mm厚のAu、Pt、Ag、Au (8) -Pd (2) 及びφ30、0.5mm厚のInが使用可能 |
Air、Ar (ArはAT-ETAのみ) |
8Pa以下 |
φ87mm |
φ70mm |
ロータリーポンプ (10L/min) ※内蔵 |
本体 250W × 370D × 325H |
本体 約15kg |
AC 100V 3A |
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