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マルチチャンバ式スパッタリング装置 S800カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応基板サイズ | ターゲットサイズ | プロセスモジュール数 | プロセスガス種 |
|---|---|---|---|---|---|---|
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S800 |
要見積もり |
φ4~φ8インチ |
φ200, φ250, φ300, φ350, φ400mm |
Max. 3 室 |
Ar、N2、O2 |
