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電子部品用スパッタリング装置BM-1400E,BM-1400W-BM-1400E
電子部品用スパッタリング装置BM-1400E,BM-1400W-芝浦メカトロニクス株式会社

電子部品用スパッタリング装置BM-1400E,BM-1400W
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この製品について

■真空技術を応用した成膜装置を幅広い分野にご提供

電子部品をはじめ、各種デバイス、光学、自動車部品などの研究開発から量産まで幅広い分野に向けたスパッタリング装置を製造しています。

■スペース生産性に優れた装置を追求

独自のプラットホームにより省スペースを実現。多彩なプロセスに対応し、要望に合わせアップスパッタ／ダウンスパッタの選択も可能です。 応用例

■電子部品

・インダクタ― (電極膜他) ・セラミック基板 (配線他) ・水晶デバイス (電極他) ・SAW/BAWデバイス (配線他) 特長

■優れたスペース生産性

独自のプラットホームにより、省スペースかつ高生産性を実現します。

■多彩なプロセスに対応

プロセス室にスパッタ、加熱、冷却、プラズマ処理を選択し搭載可能です。

■自動化ライン対応

お客様のご要望により、自動化ラインを提案します。

  • シリーズ

    電子部品用スパッタリング装置BM-1400E,BM-1400W

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電子部品用スパッタリング装置BM-1400E,BM-1400W 品番1件

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20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室 クラスター式 インライン式 ロードロック式 トレイ搬送方式

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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芝浦メカトロニクス株式会社

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会社概要

芝浦メカトロニクス株式会社は、神奈川県横浜市に本社を置く、半導体、フラットパネルディスプレイ、電子部品などの用途を対象にした、製造装置の開発・製造及びサービスを行っている会社です。

前工程から後工程まで...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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