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コンパクト・スモールフットプリント高性能RF/DC マグネトロンスパッタリング装置 nanoPVD-S10A取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | 基板ステージ | シャッター | マグネトロンカソード | スパッタ電源 | プラズマSWリレー | 真空ポンプ | 真空計 | プロセスガス制御 | 操作パネル | 装置寸法 | 装置重量 | 到達真空度 | チャンバー内アクセス | チャンバー材質・寸法 | チャンバーベースポート | トップフランジポート | フロントビューポート | ユーティリティ接続 | 電源 | 冷却水 | 圧縮空気* | ユーティリティ プロセスガス* | ベントガス* |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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nanoPVD-S10A |
要見積もり |
Φ2inch、又はΦ4inch |
基板ステージ |
Φ2inch基板用シャッターx1 (標準) 空圧制御式 |
Φ2inchx1基付属 (標準) |
DC800W、RF150W (13.56MHz 自動マッチング付) 1台 |
1:3 (1電源入力→3カソード分配) |
ターボ分子ポンプEXT75DX, ロータリーポンプRV3 |
ワイドレンジピラニゲージ:10-9~1,000mbar |
マスフローコントローラ1ch:Ar x1ch付属 (標準) |
7inch高解像度タッチパネル (次項写真参照) 専用ソフトウア’Intellidep’付属プリインストール |
804 (W) x 570 (D) x 600 (H) mm |
本体重量約70kg |
5x10-5Pascal |
トップローディング式 (上部フランジ開閉 ヒンジ固定) |
SUS304製 寸法:250 (高さ) x Φ225mm (内径) 13l容積 |
・カソード用アングルポートx 3、 中心軸ポート x 1 |
Φ2/4”用基板ホルダー・回転・昇降・ヒーター・熱電対・シャッター |
Φ70mmフロントビューポート (シールドメッシュ) |
装置背面接続:1/4Swagelok、Φ6mmクイック継手 |
200V 三相 20A 50/60Hz |
1l/min 18~20℃ 20kpa (max.) Φ6mmクイック継手接続 |
415kpa~550kpa* Φ6mmクイック継手接続 |
105kpa~170kpa* 50sccm 1/4Swagelok継手接続 |
35kpa (max.) * 純度99.995% Φ6mmクイック継手 |
