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スパッタ装置取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 到達圧力 | 膜圧分布 | リークレート | RF電源 ⁄ DC電源 | 基板サイズ | 排気系 | 出力表示モニタ出力 | ガス導入系 | 真空計 |
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スパッタ装置 |
要見積もり |
成膜室+交換室 |
成膜室 : 1×10^-5 Pa以下 |
φ50mm 基板内にて ±5%以内 |
1×10^-10 Pa・m^3⁄sec以下 |
0~300W |
φ50mm (標準) |
成膜室 : 200 L⁄sec TMP+スクロールポンプ |
800W アナログメーター付き 0~5V DCリニア出力 |
1系統 |
成膜室 : フルレンジゲージ キャパシタンスゲージ |