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小型スパッタ装置 SS-DC RF301取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | リーク量 | 排気系 | 真空計 | 基板ステージ | 基板加熱温度 | 基板上下機構 | カソード | ガス供給系 | 本体架台 | サイズ | 重量 | 用力 電力 | 用力 プロセスガス | 用力 窒素ガス (パージ用) | カソード ターゲットサイズ | カソード ターゲット材質 | カソード 冷却方法 | カソード 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SS-DC RF301 |
要見積もり |
3×10^-4 Pa以下 |
1×10^-8 Pa・m^3/sec以下 (Oリング透過分を除く) |
TMP＋ダイヤフラムポンプ |
フルレンジ真空計 (コールドカソード＋ピラニゲージ) |
2インチ対応ステージ |
MAX 500℃ (オプションでMAX 800℃ にも対応可能) |
ストローク 100mm 手動操作 Oリング軸シール |
マグネトロンカソード |
MFC1系統 (Ar) 1/4 SwagelokTM 又は VCRTM 接続 |
キャスターアジャスター付き |
W540×D600 H1280 (コネクター部分等を除く) |
約100kg |
AC200V 単相 20A) |
Ar (1/4 SwagelokTM 又は 1/4 VCRTM) |
0.05~0.1 MPa (1/4 SwagelokTM 又は 1/4 VCRTM) |
2インチ |
各種 メカニカルチャック方式 又は ボンディング方式 |
水冷式 (チラーを搭載) |
DC出力 500W 又は RF出力 300W |
