スパッタ装置 8インチターゲット貴金属コーター MSP-8in
株式会社真空デバイス
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この製品について
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シリーズ
スパッタ装置 8インチターゲット貴金属コーター MSP-8in
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取扱企業
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スパッタ装置 8インチターゲット貴金属コーター MSP-8in 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属 | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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MSP-8in |
要見積もり | φ200 m mマグネトロン方式 | 標準：Pt、オプション：Au・Au-Pd・Pt-Pd | 電圧ＤC0~510V/電流DC0~500mA | φ200mmアース電位 | 35mm | 直径≦φ210mm、高さ：≦20 m m | 内径230mmｘ深さ60mm | OMRON社製電子タイマー | 外置きRP100ℓ/min23kg | 1(Pa)以下 | 1/4’導入パイプ、0.05ＭPa以下使用 | 系統別フューズ、上蓋転倒防止ストッパー | 本体W450mm×H372mm×D400mm、42kg | AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
