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シリーズ
スパッタ装置 8インチターゲット貴金属コーター MSP-8in取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属 | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MSP-8in |
要見積もり |
φ200 m mマグネトロン方式 |
標準：Pt、オプション：Au・Au-Pd・Pt-Pd |
電圧ＤC0~510V/電流DC0~500mA |
φ200mmアース電位 |
35mm |
直径≦φ210mm、高さ：≦20 m m |
内径230mmｘ深さ60mm |
OMRON社製電子タイマー |
外置きRP100ℓ/min23kg |
1(Pa)以下 |
1/4’導入パイプ、0.05ＭPa以下使用 |
系統別フューズ、上蓋転倒防止ストッパー |
本体W450mm×H372mm×D400mm、42kg |
AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
