スパッタ装置 FE-SEM 向けタングステンコーター MSP-20-TK-MSP-20-TK

スパッタ装置 FE-SEM 向けタングステンコーター MSP-20-TK
株式会社真空デバイス

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この製品について

ターゲットの背面に強力な磁石を用いてカソード表面層でのイオン化を促進し、磁界によりイオンをターゲットに衝突させて金属分子を放出させる原理を応用したのがマグネトロンスパッタ装置です。

電子顕微鏡用途では主に金、白金といった貴金属が使われます。また、そのほかの金属ターゲットをスパッタできる上位機種もラインナップしております。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
スパッタ装置 FE-SEM 向けタングステンコーター MSP-20-TK

取扱企業
株式会社真空デバイス

カテゴリ

加工・工作機器

スパッタリング装置

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スパッタ装置 FE-SEM 向けタングステンコーター MSP-20-TK 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ターゲット	ターゲット金属	印加電圧/電流	試料ステージ	ターゲット－試料間隔	試料サイズ	チャンバーサイズ	シャッター	タイマー	排気系	到達真空度	雰囲気ガス導入	安全対策	装置サイズ	電源
	MSP-20-TK	要見積もり	φ50 m m空冷式マグネトロン	標準：W、オプション：Mo/Cr/Ni/Ta/Cu/Ti/(厚さ1mm)貴金属：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag(厚さ0.5mm)	電圧ＤC0~500V/電流DC0~200mA	φ47mmフローティング方式	50~70mm	直径≦φ45mm、高さ：≦30 m m	内径149mm、深さ126mm	プレスパッタ用シャッター標準付属	OMRON社製電子タイマー	外置きRP50ℓ/min14.6kg	1(Pa)以下	1/4’導入パイプ、0.07ＭPa以下使用。	系統別フューズ、上蓋開放感知センサー	本体W354mm×D368mm×H43022kg	AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m