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シリーズ
スパッタ装置 FE-SEM 向けタングステンコーター MSP-20-TK取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属 | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | シャッター | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MSP-20-TK |
要見積もり |
φ50 m m空冷式マグネトロン |
標準：W、オプション：Mo/Cr/Ni/Ta/Cu/Ti/(厚さ1mm)貴金属：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag(厚さ0.5mm) |
電圧ＤC0~500V/電流DC0~200mA |
φ47mmフローティング方式 |
50~70mm |
直径≦φ45mm、高さ：≦30 m m |
内径149mm、深さ126mm |
プレスパッタ用シャッター標準付属 |
OMRON社製電子タイマー |
外置きRP50ℓ/min14.6kg |
1(Pa)以下 |
1/4’導入パイプ、0.07ＭPa以下使用。 |
系統別フューズ、上蓋開放感知センサー |
本体W354mm×D368mm×H43022kg |
AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
