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シリーズ
スパッタ装置 4インチターゲット全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-MT取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属(厚さ0.1mm) | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ本体 | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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|
MSP-20-MT |
要見積もり |
φ100 m mマグネトロン方式 |
Au-Pd(標準)、Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag(板厚0.5mm) |
電圧ＤC0~500V/電流DC0~200mA |
φ100mmアース電位 |
50mm |
直径≦φ100mm、高さ：≦30 m m |
内径149mmｘ深さ82mm |
OMRON社製電子タイマー |
外置きRP50ℓ/min15kg |
1(Pa)以下 |
1/4’導入パイプ、0.05ＭPa以下使用。 |
系統別フューズ、上蓋開放感知センサー |
W350mm×H350mm×D440mm、21kg |
AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
