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シリーズ
スパッタ装置 多目的簡易操作型マグネトロンスパッタ成膜装置 MSP-40T取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電源 | 装置サイズ | 真空排気系 | 到達真空度 | 真空度測定 | 安全対策 | 操作パネル | スパッタ電源 | タイマー | チャンバーサイズ | 試料ステージサイズ | 最大試料サイズ | 電極―試料台間隔 | ターゲットサイズ | ターゲット種類 | 雰囲気ガス導入 | ターゲット冷却機構 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MSP-40T |
要見積もり |
AC100V(単相100V15A)アース付き3Pプラグ使用 |
幅504 m m、奥行486mm、高さ497mm、重量37.7kg |
ターボポンプ(TMP)：67ℓ/sec(装置内蔵チャンバー直結)ダイヤフラムポンプ(DFP)：20ℓ/min(装置外置き・チューブ接続・重量6.5kg) |
1ｘ10－4Pa以下 |
フルレンジ真空計 |
系統別サーキットブレーカ、プログラム制御によるインターロック |
タッチパネル式操作ディスプレイ搭載 |
イオン化電流：0~640mAイオン化電圧：0~650V |
調整範囲：0~9999sec |
内径178mm、深さ159mmステンレスチャンバー |
直径50mm、アノード電極分離フローティング方式 |
直径50mm、高さ50mm |
115mm、95mm、70mm各試料台付属 |
標準ターゲットサイズ：直径50mm、厚さ3mm)(オプション：厚さ1mm、2mm対応、厚さ0.5mm貴金属ターゲット＋厚さ0.6mmNiプレート) |
Pt他貴金属，Mo，Ta，W，ITO，C，Si，Ge，Al，Ni，Fe等 |
マスフローコントローラによるガス流量自動調整。アルゴンガス。0.08~0.1MPa。φ1/4インチ接続 |
水冷式ターゲット電極機構。流量スイッチインターロック。0.5~1ℓ/min。Φ6mmチューブ接続。 |
