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シリーズ
スパッタ装置 電子顕微鏡向け全自動マグネトロンスパッタ装置 MSP-1S取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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スパッタリング装置の製品67点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | コーティング室サイズ | ターゲット電極サイズ | 試料ステージサイズ | ターゲット金属 | ターゲット－試料ステージ間隔 | 最大試料サイズ | 最高放電電流/印加電圧 | 使用電流範囲 | コーティングむら(φ50mm面内) | 電源 | 本体外形寸法 | 本体重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MSP-1S |
要見積もり |
内径120mm、高さ66mm |
直径47.5mm(実効面径) |
直径50mm |
ｔ=0.1、φ50、Au-Pd(標準)オプション：Au、Pt、Pt-Pd |
34mm |
φ48mm高さ20mm |
50mA/500V |
30mA~50mA |
≦10% |
AC100V，10Aアース線付き3芯プラグ |
W200mm×D340mm×H350mm |
14kg |
