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処理基板
最大¢100mm
装置構成 / ロードロック室
1室
装置構成 / カセット室
1室
装置構成 / 搬送室
1室
装置構成 / スパッタ室
3室
カソード仕様
RMC
スパッタ方向
ダウン
プロセス性能 / 膜厚分布
±5%以内 (¢65)
プロセス性能 / エッチング分布
±10%以内 (¢65)
プロセス性能 / 基板加熱
500℃
各室到達压力 / ロードロック室
8.0 x 10-⁶Pa以下
各室到達压力 / カセット室
4.0 x 10-⁶Pa以下
各室到達压力 / 搬送室
1.0 x 10-⁷Pa以下
各室到達压力 / スパッタ室
1.0 x 10-⁶Pa以下
操作方法
全自動CtoC方式
型番
STM2323シリーズ
薄膜形成装置 超高真空スパッタリング装置取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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スパッタリング装置の製品102点中、注目ランキング上位6点
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何社からも電話が来る心配はありません
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商品画像 | 価格 (税抜) | 処理基板 | 装置構成 / ロードロック室 | 装置構成 / カセット室 | 装置構成 / 搬送室 | 装置構成 / スパッタ室 | カソード仕様 | スパッタ方向 | プロセス性能 / 膜厚分布 | プロセス性能 / エッチング分布 | プロセス性能 / 基板加熱 | 各室到達压力 / ロードロック室 | 各室到達压力 / カセット室 | 各室到達压力 / 搬送室 | 各室到達压力 / スパッタ室 | 操作方法 |
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要見積もり | 最大¢100mm | 1室 | 1室 | 1室 | 3室 | RMC | ダウン | ±5%以内 (¢65) | ±10%以内 (¢65) | 500℃ | 8.0 x 10-⁶Pa以下 | 4.0 x 10-⁶Pa以下 | 1.0 x 10-⁷Pa以下 | 1.0 x 10-⁶Pa以下 | 全自動CtoC方式 |
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