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基板サイズ
最大φ12インチ
スパッタカソード
マグネトロン方式、ターゲットシャッタ
スパッタ電源
RFまたはDC
プロセスガス
Ar、O2、N2、他
基板ステージ
基板加熱：700℃ (基板表面) 自転：30rpm 公転：10rpm 昇降：50mmst
真空排気
構成1：TMP+DP 構成2：CP+DP
圧力制御
APC制御
制御操作
制御：PLC 操作：タッチパネルまたはPC
データロギング
外部メモリまたはPC
基板搬送
真空搬送ロボット
型番
多元スパッタリング装置取扱企業
ジャパンクリエイト株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年12月12日にレビュー済み
顧客対応への満足度
回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。
初回対応までの時間への満足度
4.22時間
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スパッタリング装置の製品105点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
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返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | スパッタカソード | スパッタ電源 | プロセスガス | 基板ステージ | 真空排気 | 圧力制御 | 制御操作 | データロギング | 基板搬送 | オプション |
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要見積もり | 最大φ12インチ | マグネトロン方式、ターゲットシャッタ | RFまたはDC | Ar、O2、N2、他 |
基板加熱：700℃ (基板表面) 自転：30rpm 公転：10rpm 昇降：50mmst |
構成1：TMP+DP 構成2：CP+DP |
APC制御 |
制御：PLC 操作：タッチパネルまたはPC |
外部メモリまたはPC | 真空搬送ロボット |
基板加熱900℃、基板バイアス (RFまたはDC) 、基板冷却 (低温成膜) 、ムービングマグネット、磁性材ターゲット用カソード、発光分析システム、トレイ搬送、Q-MASS etc |
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