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独自のスパッタカソードを搭載 多元スパッタリング装置-ジャパンクリエイト株式会社
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ジャパンクリエイト株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

129.3時間

全型番で同じ値の指標

基板サイズ

最大φ12インチ

スパッタカソード

マグネトロン方式、ターゲットシャッタ

スパッタ電源

RFまたはDC

プロセスガス

Ar、O2、N2、他

基板ステージ

基板加熱:700℃ (基板表面) 自転:30rpm 公転:10rpm 昇降:50mmst

真空排気

構成1:TMP+DP 構成2:CP+DP

圧力制御

APC制御

制御操作

制御:PLC 操作:タッチパネルまたはPC

データロギング

外部メモリまたはPC

基板搬送

真空搬送ロボット

この製品について

■特徴

・当社独自のスパッタカソードを搭載 ・基板ステージに3軸機構 (昇降、公転、自転) を搭載し、均一な膜厚分布を実現 ・当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載し、基板温度900℃を実現 ・最大4台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能 ・トレイ搬送にも対応 ・CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可

■用途

・半導体 ・MEMS ・電子部品 ・光学部品 ・車載部品

  • 型番

    多元スパッタリング装置

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年12月12日にレビュー済み

顧客対応への満足度

回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。

初回対応までの時間への満足度

4.22時間


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独自のスパッタカソードを搭載 多元スパッタリング装置 多元スパッタリング装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) 基板サイズ スパッタカソード スパッタ電源 プロセスガス 基板ステージ 真空排気 圧力制御 制御操作 データロギング 基板搬送 オプション
独自のスパッタカソードを搭載 多元スパッタリング装置-品番-多元スパッタリング装置 要見積もり 最大φ12インチ マグネトロン方式、ターゲットシャッタ RFまたはDC Ar、O2、N2、他 基板加熱:700℃ (基板表面)
自転:30rpm
公転:10rpm
昇降:50mmst
構成1:TMP+DP
構成2:CP+DP
APC制御 制御:PLC
操作:タッチパネルまたはPC
外部メモリまたはPC 真空搬送ロボット

基板加熱900℃、基板バイアス (RFまたはDC) 、基板冷却 (低温成膜) 、ムービングマグネット、磁性材ターゲット用カソード、発光分析システム、トレイ搬送、Q-MASS etc


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フィルターから探す

スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

129.3時間


企業レビュー

5.0

会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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