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排気ポンプ
DRP＋CRYO、TMP
設置寸法
W5,800mm×D3,700mm×H2,550mm
重量
6,000kg
電源容量
AC200V (3φ) ／69kVA (199A)
型番
SPM Series取扱企業
株式会社昭和真空カテゴリ
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スパッタリング装置の製品119点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 排気ポンプ | 設置寸法 | 重量 | 電源容量 |
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要見積もり | DRP＋CRYO、TMP | W5,800mm×D3,700mm×H2,550mm | 6,000kg | AC200V (3φ) ／69kVA (199A) |
スパッタリング装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
成膜方式がスパッタリング法の製品
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
