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スパッタリング方式
DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧：DC 1500V max、放電電流：DC 50mA max
ターゲット (別売)
Cr、Pt、Au、Au-Pdなどオプションとして各種ターゲットを用意
使用ガス
Air、Ar
到達真空圧
10-2Pa以下 (スパッタ時1Pa)
チャンバー内寸
φ100mm
試料ホルダー
φ50mm
真空排気
主排気：ターボミニポンプ (本体内蔵) 、補助排気：ダイヤフラムポンプ (外置き)
寸法
本体 360W × 417D × 380H
重量
本体 約20kg、ダイヤフラムポンプ 4kg
電源
AC 100V/200V (出荷時選択) 5A、15A (別売カーボンコーディングアタッチメント)
型番
AT-901シリーズ
ターボマルチコーター AT-901取扱企業
株式会社エーティーエーカテゴリ
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スパッタリング装置の製品102点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | スパッタリング方式 | ターゲット (別売) | 使用ガス | 到達真空圧 | チャンバー内寸 | 試料ホルダー | 真空排気 | 寸法 | 重量 | 電源 |
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要見積もり | DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧：DC 1500V max、放電電流：DC 50mA max | Cr、Pt、Au、Au-Pdなどオプションとして各種ターゲットを用意 | Air、Ar | 10-2Pa以下 (スパッタ時1Pa) | φ100mm | φ50mm | 主排気：ターボミニポンプ (本体内蔵) 、補助排気：ダイヤフラムポンプ (外置き) | 本体 360W × 417D × 380H | 本体 約20kg、ダイヤフラムポンプ 4kg | AC 100V/200V (出荷時選択) 5A、15A (別売カーボンコーディングアタッチメント) |
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