全てのカテゴリ

閲覧履歴

メタルプラズマコーター-株式会社エーティーエー

全型番で同じ値の指標

スパッタリング方式

DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧:DC 1500V max、放電電流:DC 10、20、30、40mAから選択

ターゲット (別売)

φ30、0.1mm厚のAu、Pt、Ag、Au (8) -Pd (2) 及びφ30、0.5mm厚のInが使用可能

使用ガス

Air、Ar (ArはAT-ETAのみ)

到達真空圧

8Pa以下

チャンバー内寸

φ87mm

試料ホルダー

φ70mm

真空排気

ロータリーポンプ (10L/min) ※内蔵

寸法

本体 250W × 370D × 325H

重量

本体 約15kg

電源

AC 100V 3A

この製品について

■特徴

ロータリーポンプを内蔵し、卓上型にしたことで、小スペース化を実現。簡単操作で、排気からコーティング完了まで自動で対応。真空度が分かりやすいよう、デジタル表示を採用。低価格。

■ターゲット

Au、Pt、Ag、Au-Pd、Inを揃えています。 (φ30t:0.1mm但しInの場合0.5mm) (別売) Inを使用される場合、アルゴンガス対応であるAT-ETaをお勧めいたします

  • 型番

    AT-ET

この製品を共有する


40人以上が見ています

最新の閲覧: 15分前


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

メタルプラズマコーター AT-ETの性能表

商品画像 価格 (税抜) スパッタリング方式 ターゲット (別売) 使用ガス 到達真空圧 チャンバー内寸 試料ホルダー 真空排気 寸法 重量 電源
メタルプラズマコーター-品番-AT-ET 要見積もり DCマグネトロンスパッタリング、放電電圧:DC 1500V max、放電電流:DC 10、20、30、40mAから選択 φ30、0.1mm厚のAu、Pt、Ag、Au (8) -Pd (2) 及びφ30、0.5mm厚のInが使用可能 Air、Ar (ArはAT-ETAのみ) 8Pa以下 φ87mm φ70mm ロータリーポンプ (10L/min) ※内蔵 本体 250W × 370D × 325H 本体 約15kg AC 100V 3A

全1種類の型番を一覧でみる

類似製品

スパッタリング装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
使用用途が電子顕微鏡の製品

フィルターから探す

スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

この商品を見た方はこちらもチェックしています

スパッタリング装置をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

この商品の該当カテゴリ

Copyright © 2025 Metoree