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返答率
100.0%
返答時間
29.2時間
基板サイズ
Φ2inch、又はΦ4inch
基板ステージ
基板ステージ
シャッター
Φ2inch基板用シャッターx1 (標準) 空圧制御式
マグネトロンカソード
Φ2inchx1基付属 (標準)
スパッタ電源
DC800W、RF150W (13.56MHz 自動マッチング付) 1台
プラズマSWリレー
1:3 (1電源入力→3カソード分配)
真空ポンプ
ターボ分子ポンプEXT75DX, ロータリーポンプRV3
真空計
ワイドレンジピラニゲージ:10-9~1,000mbar
プロセスガス制御
マスフローコントローラ1ch:Ar x1ch付属 (標準)
操作パネル
7inch高解像度タッチパネル (次項写真参照) 専用ソフトウア’Intellidep’付属プリインストール
装置寸法
804 (W) x 570 (D) x 600 (H) mm
装置重量
本体重量約70kg
到達真空度
5x10-5Pascal
チャンバー内アクセス
トップローディング式 (上部フランジ開閉 ヒンジ固定)
チャンバー材質・寸法
SUS304製 寸法:250 (高さ) x Φ225mm (内径) 13l容積
チャンバーベースポート
・カソード用アングルポートx 3、 中心軸ポート x 1 ・膜厚センサ・ガス・真空ポート x 各1、冷却水 x 1系統
トップフランジポート
Φ2/4”用基板ホルダー・回転・昇降・ヒーター・熱電対・シャッター
フロントビューポート
Φ70mmフロントビューポート (シールドメッシュ)
ユーティリティ接続
装置背面接続:1/4Swagelok、Φ6mmクイック継手
電源
200V 三相 20A 50/60Hz
冷却水
1l/min 18~20℃ 20kpa (max.) Φ6mmクイック継手接続
圧縮空気*
415kpa~550kpa* Φ6mmクイック継手接続
ユーティリティ プロセスガス*
105kpa~170kpa* 50sccm 1/4Swagelok継手接続
ベントガス*
35kpa (max.) * 純度99.995% Φ6mmクイック継手
型番
nanoPVD-S10A取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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一括見積もり
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | 基板ステージ | シャッター | マグネトロンカソード | スパッタ電源 | プラズマSWリレー | 真空ポンプ | 真空計 | プロセスガス制御 | 操作パネル | 装置寸法 | 装置重量 | 到達真空度 | チャンバー内アクセス | チャンバー材質・寸法 | チャンバーベースポート | トップフランジポート | フロントビューポート | ユーティリティ接続 | 電源 | 冷却水 | 圧縮空気* | ユーティリティ プロセスガス* | ベントガス* |
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要見積もり | Φ2inch、又はΦ4inch | 基板ステージ | Φ2inch基板用シャッターx1 (標準) 空圧制御式 | Φ2inchx1基付属 (標準) | DC800W、RF150W (13.56MHz 自動マッチング付) 1台 | 1:3 (1電源入力→3カソード分配) | ターボ分子ポンプEXT75DX, ロータリーポンプRV3 | ワイドレンジピラニゲージ:10-9~1,000mbar | マスフローコントローラ1ch:Ar x1ch付属 (標準) | 7inch高解像度タッチパネル (次項写真参照) 専用ソフトウア’Intellidep’付属プリインストール | 804 (W) x 570 (D) x 600 (H) mm | 本体重量約70kg | 5x10-5Pascal | トップローディング式 (上部フランジ開閉 ヒンジ固定) | SUS304製 寸法:250 (高さ) x Φ225mm (内径) 13l容積 |
・カソード用アングルポートx 3、 中心軸ポート x 1 ・膜厚センサ・ガス・真空ポート x 各1、冷却水 x 1系統 |
Φ2/4”用基板ホルダー・回転・昇降・ヒーター・熱電対・シャッター | Φ70mmフロントビューポート (シールドメッシュ) | 装置背面接続:1/4Swagelok、Φ6mmクイック継手 | 200V 三相 20A 50/60Hz | 1l/min 18~20℃ 20kpa (max.) Φ6mmクイック継手接続 | 415kpa~550kpa* Φ6mmクイック継手接続 | 105kpa~170kpa* 50sccm 1/4Swagelok継手接続 | 35kpa (max.) * 純度99.995% Φ6mmクイック継手 |
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