全てのカテゴリ
閲覧履歴
返答率
100.0%
返答時間
1.4時間
装置構成
成膜室+交換室
到達圧力
成膜室 : 1×10^-5 Pa以下 交換室 : 1 Pa以下
膜圧分布
φ50mm 基板内にて ±5%以内
リークレート
1×10^-10 Pa・m^3⁄sec以下
RF電源 ⁄ DC電源
0~300W
基板サイズ
φ50mm (標準)
排気系
成膜室 : 200 L⁄sec TMP+スクロールポンプ 交換室 : スクロールポンプ (フォアライントラップ付き)
出力表示モニタ出力
800W アナログメーター付き 0~5V DCリニア出力
ガス導入系
1系統
真空計
成膜室 : フルレンジゲージ キャパシタンスゲージ 交換室 : ピラニーゲージ
型番
スパッタ装置シリーズ
スパッタ装置取扱企業
アリオス株式会社カテゴリ
もっと見る
スパッタリング装置の製品86点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
商品画像 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 到達圧力 | 膜圧分布 | リークレート | RF電源 ⁄ DC電源 | 基板サイズ | 排気系 | 出力表示モニタ出力 | ガス導入系 | 真空計 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
要見積もり | 成膜室+交換室 |
成膜室 : 1×10^-5 Pa以下 交換室 : 1 Pa以下 |
φ50mm 基板内にて ±5%以内 | 1×10^-10 Pa・m^3⁄sec以下 | 0~300W | φ50mm (標準) |
成膜室 : 200 L⁄sec TMP+スクロールポンプ 交換室 : スクロールポンプ (フォアライントラップ付き) |
800W アナログメーター付き 0~5V DCリニア出力 | 1系統 |
成膜室 : フルレンジゲージ キャパシタンスゲージ 交換室 : ピラニーゲージ |
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます