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・この装置は電子顕微鏡などの試料に導電膜処理を施す装置です。 ・ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な8インチサイズです。 ・アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度・膜抵抗値の向上 に活躍します。 (アルゴンガスおよび減圧弁はお客様準備品) ・ターゲットにマグネトロン方式を採用。コーティング電圧500Ｖ以下だから、イオンダ メージ・熱ダメージを最小限に抑えられます。 ・永久磁石と磁極リングの配置によって、コーティング厚さムラ10％以下を実現。 ・ターゲット金属板 (Pt) を標準で付属。
ターゲット
φ200 m mマグネトロン方式
ターゲット金属
標準：Pt、オプション：Au・Au-Pd・Pt-Pd
印加電圧/電流
電圧ＤC0~510V/電流DC0~500mA
試料ステージ
φ200mmアース電位
ターゲット－試料間隔
35mm
試料サイズ
直径≦φ210mm、高さ：≦20 m m
チャンバーサイズ
内径230mmｘ深さ60mm
タイマー
OMRON社製電子タイマー
排気系
外置きRP100ℓ/min23kg
到達真空度
1(Pa)以下
雰囲気ガス導入
1/4’導入パイプ、0.05ＭPa以下使用
安全対策
系統別フューズ、上蓋転倒防止ストッパー
装置サイズ
本体W450mm×H372mm×D400mm、42kg
電源
AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m
型番
MSP-8in取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属 | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
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要見積もり | φ200 m mマグネトロン方式 | 標準：Pt、オプション：Au・Au-Pd・Pt-Pd | 電圧ＤC0~510V/電流DC0~500mA | φ200mmアース電位 | 35mm | 直径≦φ210mm、高さ：≦20 m m | 内径230mmｘ深さ60mm | OMRON社製電子タイマー | 外置きRP100ℓ/min23kg | 1(Pa)以下 | 1/4’導入パイプ、0.05ＭPa以下使用 | 系統別フューズ、上蓋転倒防止ストッパー | 本体W450mm×H372mm×D400mm、42kg | AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
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