制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
・この装置は電子顕微鏡などの試料に導電膜処理を施す装置です。 ・ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な8インチサイズです。 ・アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度・膜抵抗値の向上 に活躍します。 (アルゴンガスおよび減圧弁はお客様準備品) ・ターゲットにマグネトロン方式を採用。コーティング電圧500Ｖ以下だから、イオンダ メージ・熱ダメージを最小限に抑えられます。 ・永久磁石と磁極リングの配置によって、コーティング厚さムラ10％以下を実現。 ・ターゲット金属板 (Pt) を標準で付属。
ターゲット
φ200 m mマグネトロン方式
ターゲット金属
標準：Pt、オプション：Au・Au-Pd・Pt-Pd
印加電圧/電流
電圧ＤC0~510V/電流DC0~500mA
試料ステージ
φ200mmアース電位
ターゲット－試料間隔
35mm
試料サイズ
直径≦φ210mm、高さ：≦20 m m
チャンバーサイズ
内径230mmｘ深さ60mm
タイマー
OMRON社製電子タイマー
排気系
外置きRP100ℓ/min23kg
到達真空度
1(Pa)以下
雰囲気ガス導入
1/4’導入パイプ、0.05ＭPa以下使用
安全対策
系統別フューズ、上蓋転倒防止ストッパー
装置サイズ
本体W450mm×H372mm×D400mm、42kg
電源
AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m
型番
MSP-8in取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年6月3日にレビュー済み
顧客対応への満足度
非常に迅速で丁寧なご対応を頂きました。感謝申し上げます。
初回対応までの時間への満足度
44.35時間
もっと見る
スパッタリング装置の製品122点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
| 商品画像 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属 | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | φ200 m mマグネトロン方式 | 標準：Pt、オプション：Au・Au-Pd・Pt-Pd | 電圧ＤC0~510V/電流DC0~500mA | φ200mmアース電位 | 35mm | 直径≦φ210mm、高さ：≦20 m m | 内径230mmｘ深さ60mm | OMRON社製電子タイマー | 外置きRP100ℓ/min23kg | 1(Pa)以下 | 1/4’導入パイプ、0.05ＭPa以下使用 | 系統別フューズ、上蓋転倒防止ストッパー | 本体W450mm×H372mm×D400mm、42kg | AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
スパッタリング装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
使用用途が電子顕微鏡の製品
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
