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・この装置は電子顕微鏡などの試料にタングステンコートを施す装置です。 ・ターゲットは空冷式マグネトロン方式で、貴金属以外の金属コーティングを可能にし、イオンダメ ージ・熱ダメージを最小限に抑えています。 ・マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使い易いレイアウト。押し 間違えても作動しない誤動作防止機能付き。複数人の使用でも安心してお使いいただけます。 ・貴金属ターゲット使用時は、調整後に中央のオートコントロールスイッチを押すだけ。 ・試料台はイオンダメージを軽減するためフローティング (絶縁) 方式を採用。 ・ターゲット金属板はタングステン1mm厚を標準で付属。 注) アルゴンガスの接続が必要となります。 (お客様準備品)
ターゲット
φ50 m m空冷式マグネトロン
ターゲット金属
標準：W、オプション：Mo/Cr/Ni/Ta/Cu/Ti/(厚さ1mm)貴金属：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag(厚さ0.5mm)
印加電圧/電流
電圧ＤC0~500V/電流DC0~200mA
試料ステージ
φ47mmフローティング方式
ターゲット－試料間隔
50~70mm
試料サイズ
直径≦φ45mm、高さ：≦30 m m
チャンバーサイズ
内径149mm、深さ126mm
シャッター
プレスパッタ用シャッター標準付属
タイマー
OMRON社製電子タイマー
排気系
外置きRP50ℓ/min14.6kg
到達真空度
1(Pa)以下
雰囲気ガス導入
1/4’導入パイプ、0.07ＭPa以下使用。
安全対策
系統別フューズ、上蓋開放感知センサー
装置サイズ
本体W354mm×D368mm×H43022kg
電源
AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m
型番
MSP-20-TK取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属 | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | シャッター | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
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要見積もり | φ50 m m空冷式マグネトロン | 標準：W、オプション：Mo/Cr/Ni/Ta/Cu/Ti/(厚さ1mm)貴金属：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag(厚さ0.5mm) | 電圧ＤC0~500V/電流DC0~200mA | φ47mmフローティング方式 | 50~70mm | 直径≦φ45mm、高さ：≦30 m m | 内径149mm、深さ126mm | プレスパッタ用シャッター標準付属 | OMRON社製電子タイマー | 外置きRP50ℓ/min14.6kg | 1(Pa)以下 | 1/4’導入パイプ、0.07ＭPa以下使用。 | 系統別フューズ、上蓋開放感知センサー | 本体W354mm×D368mm×H43022kg | AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
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