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・この装置は電子顕微鏡などの試料に導電膜処理を施す装置です。 ・ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な4インチサイズ。 ・アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度の向上に活躍。 ・マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。押し間違えても作動しない誤動作防止機能付きで、複数人の使用でも安心してお使いいただけます。 ・調整・条件出し完了後は、中央のオートコントロールスイッチを押すだけ。 ・排気速度と放電条件のバランスを重視して、2系統の排気管を自動制御。 ・イオンダメージに弱いサンプル・熱ダメージに弱いサンプルにコーティングするため、ターゲットにマグネトロン方式を採用。 ・ターゲット金属板 (Au-Pd) を標準で付属。ご希望のターゲットに変更可能です。 (但し、購入価格は標準仕様時と異なります。)
ターゲット
φ100 m mマグネトロン方式
ターゲット金属(厚さ0.1mm)
Au-Pd(標準)、Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag(板厚0.5mm)
印加電圧/電流
電圧ＤC0~500V/電流DC0~200mA
試料ステージ
φ100mmアース電位
ターゲット－試料間隔
50mm
試料サイズ
直径≦φ100mm、高さ：≦30 m m
チャンバーサイズ
内径149mmｘ深さ82mm
タイマー
OMRON社製電子タイマー
排気系
外置きRP50ℓ/min15kg
到達真空度
1(Pa)以下
雰囲気ガス導入
1/4’導入パイプ、0.05ＭPa以下使用。
安全対策
系統別フューズ、上蓋開放感知センサー
装置サイズ本体
W350mm×H350mm×D440mm、21kg
電源
AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m
型番
MSP-20-MT取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年6月3日にレビュー済み
顧客対応への満足度
非常に迅速で丁寧なご対応を頂きました。感謝申し上げます。
初回対応までの時間への満足度
44.35時間
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電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
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複数社に同じ内容の記入は不要です
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属(厚さ0.1mm) | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ本体 | 電源 |
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要見積もり | φ100 m mマグネトロン方式 | Au-Pd(標準)、Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag(板厚0.5mm) | 電圧ＤC0~500V/電流DC0~200mA | φ100mmアース電位 | 50mm | 直径≦φ100mm、高さ：≦30 m m | 内径149mmｘ深さ82mm | OMRON社製電子タイマー | 外置きRP50ℓ/min15kg | 1(Pa)以下 | 1/4’導入パイプ、0.05ＭPa以下使用。 | 系統別フューズ、上蓋開放感知センサー | W350mm×H350mm×D440mm、21kg | AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
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