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・MSP-1Sは走査型電子顕微鏡 (SEM) 観察用イオンスパッタ成膜装置です。 ・ターゲットは金パラジウム (Au-Pd) を標準装備。オプションで金 (Au) 、白金 (Pt) 、白 金パラジウム (Pt-Pd) を選択可能です。 ・試料台はイオンダメージを軽減するフローティング方式を採用。 ・低電圧コーティングで、デリケートな試料にも試料損傷がほとんどありません。 ・ボタン1つで排気・コーティング・リークまでを全自動で行います。 ・排気系はRP10ℓ/minを内蔵。
コーティング室サイズ
内径120mm、高さ66mm
ターゲット電極サイズ
直径47.5mm(実効面径)
試料ステージサイズ
直径50mm
ターゲット金属
ｔ=0.1、φ50、Au-Pd(標準)オプション：Au、Pt、Pt-Pd
ターゲット－試料ステージ間隔
34mm
最大試料サイズ
φ48mm高さ20mm
最高放電電流/印加電圧
50mA/500V
使用電流範囲
30mA~50mA
コーティングむら(φ50mm面内)
≦10%
電源
AC100V，10Aアース線付き3芯プラグ
本体外形寸法
W200mm×D340mm×H350mm
本体重量
14kg
型番
MSP-1S取扱企業
株式会社真空デバイスカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | コーティング室サイズ | ターゲット電極サイズ | 試料ステージサイズ | ターゲット金属 | ターゲット－試料ステージ間隔 | 最大試料サイズ | 最高放電電流/印加電圧 | 使用電流範囲 | コーティングむら(φ50mm面内) | 電源 | 本体外形寸法 | 本体重量 |
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要見積もり | 内径120mm、高さ66mm | 直径47.5mm(実効面径) | 直径50mm | ｔ=0.1、φ50、Au-Pd(標準)オプション：Au、Pt、Pt-Pd | 34mm | φ48mm高さ20mm | 50mA/500V | 30mA~50mA | ≦10% | AC100V，10Aアース線付き3芯プラグ | W200mm×D340mm×H350mm | 14kg |
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