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マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ-アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

プロセス室を複数搭載可能 (最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200) なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

■用途

・電子部品 ・MEMS ・パワーデバイス ・LED

■特長

φ200mm基板を搬送可能

■プロセス室として、多様なモジュールをラインナップ

・誘電体用モジュール ・高温成膜モジュール ・精密分布モジュール ・エッチングモジュール

  • 型番

    SME-200シリーズ

企業レビュー 4.5

Metoree経由で見積もり

2025年7月28日にレビュー済み

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マルチチャンバ型スパッタリング装置 SME-200シリーズ SME-200シリーズの性能表

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使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

スパッタ方式

DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型

成膜環境

高真空型 中真空型

ターゲット構成

単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型

対象搬送方式

静止基板型 回転基板型 スルーフィード型

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

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100.0%


返答時間

183.4時間


企業レビュー

4.5

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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