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ソース X線源 RS40B1-北野精機株式会社

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標準アノード

Al/Mg蒸着膜

消費電力

Mg/400W Al/600W

クロストーク

<0.35%

Z方向移動、ティルト (オプション)

50、75、100mm

ベイク温度

250℃以下

必要水冷値

水圧:4.5~5bar 流量:≥2.5L/分

この製品について

■概要

RS40B1は光電子分光用に開発された新型、高出力のツインアノード (Al/Mg) X線源です。ツインアノードを前後に可動させるためのZシフトもオプションで準備されています。他社製品の取替え用X線源としても広く採用されています。

■特徴

・自社設計の冷却機構によりアノードを効率よく冷却 ・クロストークによる汚染を抑えるための設計 ・他社製品代替品としての汎用性

  • 型番

    RS40B1

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ソース X線源 RS40B1 RS40B1の性能表

商品画像 価格 (税抜) 標準アノード 消費電力 クロストーク Z方向移動、ティルト (オプション) ベイク温度 必要水冷値
ソース X線源 RS40B1-品番-RS40B1 要見積もり Al/Mg蒸着膜 Mg/400W
Al/600W
<0.35% 50、75、100mm 250℃以下 水圧:4.5~5bar
流量:≥2.5L/分

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使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

19.4時間

  • 本社所在地: 東京都

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