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メーカー
島津産機システムズ (株)
形成膜
金属、絶縁物等
膜厚分布
回転時⇒Φ100mmエリア±5%、静止時⇒Φ40mmエリア±10%
スパッタ方式
デポアップ
電極間距離
70~110mm
ターゲットホルダー
2インチ 3基
基板サイズ
回転時⇒Φ150mm、静止時⇒Φ50mm
基板取付枚数
1枚
回転数
MAX20rpm
ヒーター
MAX300℃ (基板表面)
主ポンプ
油拡散真空ポンプ (DP)
補助ポンプ
油回転真空ポンプ (RP)
到達圧力
10-4Pa台
ガス導入系
Ar-マスフローコントローラー (MFC) 1系統
高周波電源
13.6MHz 200W
冷却水 温度
5~25℃
冷却水 流水
6L/min
冷却水 圧力
0.2~0.3MPa・G
スパッタ用Arガス
0.1~0.2MPa・G
チャンバーリーク用N2ガス
0.1~0.2MPa・G (空気でも可)
ポンプリーク用N2ガス
0.02MPa・G (空気でも可)
圧空
0.4~0.5MPa・G
ポンプ排気 許容排気口圧力
20kPa・G以下
電源
AC200V、3Φ、60Hz、5KVA
アース
Aタイプ
到達圧力 ロードロック室
6.7Pa
到達圧力 スパッタ室
10-4Pa台
型番
HSR-351取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年9月6日にレビュー済み
顧客対応への満足度
迅速な回答、説明があった。
初回対応までの時間への満足度
27.47時間
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スパッタリング装置の製品80点中、注目ランキング上位6点
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一括見積もり
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返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | メーカー | 形成膜 | 膜厚分布 | スパッタ方式 | 電極間距離 | ターゲットホルダー | 基板サイズ | 基板取付枚数 | 回転数 | ヒーター | 主ポンプ | 補助ポンプ | 到達圧力 | ガス導入系 | 高周波電源 | 冷却水 温度 | 冷却水 流水 | 冷却水 圧力 | スパッタ用Arガス | チャンバーリーク用N2ガス | ポンプリーク用N2ガス | 圧空 | ポンプ排気 許容排気口圧力 | 電源 | アース | 重量 | 設置面積 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 島津産機システムズ (株) | 金属、絶縁物等 | 回転時⇒Φ100mmエリア±5%、静止時⇒Φ40mmエリア±10% | デポアップ | 70~110mm | 2インチ 3基 | 回転時⇒Φ150mm、静止時⇒Φ50mm | 1枚 | MAX20rpm | MAX300℃ (基板表面) | 油拡散真空ポンプ (DP) | 油回転真空ポンプ (RP) | 10-4Pa台 | Ar-マスフローコントローラー (MFC) 1系統 | 13.6MHz 200W | 5~25℃ | 6L/min | 0.2~0.3MPa・G | 0.1~0.2MPa・G | 0.1~0.2MPa・G (空気でも可) | 0.02MPa・G (空気でも可) | 0.4~0.5MPa・G | 20kPa・G以下 | AC200V、3Φ、60Hz、5KVA | Aタイプ | 480Kg | W1,930mm×D1,100mm×H1,650mm |
オイルミストトラップ、液体窒素トラップ、逆スパッタ機構 |
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