摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ ピーアイ・ジャパン株式会社
ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
0.6時間
この製品について
■特徴
・150mm、200mm、350mm ・モーションプラットフォームの直径 ・ロープロファイル ・偏心率と平面度<100nm ・磁気プリロードによる静止時のセルフロックのオプション■製品の概要
・PIglide RLシリーズの直接駆動薄型回転ステージは、薄型設計で最高の精度を実現するように設計されています。 ・さまざまなオプションを組み合わせて、ポイントツーポイントのインデックス作成または等速スキャンに最適なソリューションを作成できます。 ・RLステージは、優れた移動精度、平坦性、ウォブル性能を備えています。■アブソリュートエンコーダ (オプション)
・アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。 ・これは、スイッチオン中にリファレンスが必要ないことを意味し、動作中の効率と安全性が向上します。■応用分野
光学アライメント、ウェーハ検査、ウェーハアライメント、測定技術、検査システム、キャリブレーション、スキャニング。摩擦のない動きのおかげで粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に最適です。■三相トルクモーター
・ブラシレス ・スロットレス ・低コギングトルク■付属品とオプション
・インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ ・真空シール ・磁気プリロードによる静止時のセルフロック ・リクエストに応じてクリアアパーチャ ・PIglideフィルターと空気準備キット ・単軸または多軸のモーション コントローラおよびサーボ ドライブ ・多軸/カスタマイズされたセットアップ ・花崗岩製ベースプレートと振動低減システム-
シリーズ
摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ
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取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
回転ステージ注目ランキング
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摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ 品番6件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 回転範囲θZ | 最大角速度 (θZ、無負荷時) | θZの動きによるXの線形クロストーク | θZの動きによるYの線形クロストーク | θZの動きによるZの線形クロストーク | θZの動きによるθXの回転クロストーク | θZの動きによるθYの回転クロストーク | 統合センサー | θZの双方向繰返し精度 | θZでの位置決め精度、校正済み | センサー信号 | センサー信号周期 / U | センサー解像度、回転 | 基準スイッチ | ドライブタイプ | 公称電圧 | ピーク電圧 | 公称電流、RMS | ピーク電流、RMS | 駆動トルクθZ反時計回り | θZで時計回りの駆動トルク | θZ反時計回りのピークトルク | θZで時計回りのピークトルク | トルク定数 | 抵抗相間 | インダクタンス相間 | 逆起電力、相間、回転 | ベアリングの種類 | θZで移動した質量、無負荷 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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A-634.A100 |
要見積もり | θZ | 360° | 500分^-1 | ±0.1μm | ±0.1μm | ±0.038μm | ±1μrad | ±1μrad | インクリメンタル角度測定システム | ±4μrad | ±8μrad | Sin/cos、1Vピーク-ピーク | 23600 | 0.06μrad | 1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク | 鉄筋レス三相トルクモーター | 48V | 80V | 2.3A | 6.9A | 1.6N・m | 1.6N・m | 4.7N・m | 4.7N・m | 0.59N・m/A | 6.7Ω | 0.9mH | 71V/kRPM | 磁気プリロード付きエアベアリング | 1,900g | |
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A-634.B100 |
要見積もり | θZ | 360° | 500分^-1 | ±0.1μm | ±0.1μm | ±0.038μm | ±1μrad | ±1μrad | 絶対角度測定システム | ±4μrad | ±8μrad | BiSS-C | - | 0.0015μrad | - | 鉄筋レス三相トルクモーター | 48V | 80V | 2.3A | 6.9A | 1.6N・m | 1.6N・m | 4.7N・m | 4.7N・m | 0.59N・m/A | 6.7Ω | 0.9mH | 71V/kRPM | 磁気プリロード付きエアベアリング | 1,900g | |
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A-635.A100 |
要見積もり | θZ | 360° | 500分^-1 | ±0.075μm | ±0.075μm | ±0.038μm | ±1μrad | ±1μrad | インクリメンタル角度測定システム | ±4μrad | ±8μrad | Sin/cos、1Vピーク-ピーク | 31488 | 0.05μrad | 1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク | 鉄筋レス三相トルクモーター | 48V | 80V | 4.5A | 13.9A | 2.8N・m | 2.8N・m | 8.5N・m | 8.5N・m | 0.66N・m/A | 4.5Ω | 0.6mH | 80V/kRPM | 磁気プリロード付きエアベアリング | 3,600g | |
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A-635.B100 |
要見積もり | θZ | 360° | 500分^-1 | ±0.075μm | ±0.075μm | ±0.038μm | ±1μrad | ±1μrad | 絶対角度測定システム | ±4μrad | ±8μrad | BiSS-C | - | 0.0015μrad | - | 鉄筋レス三相トルクモーター | 48V | 80V | 4.5A | 13.9A | 2.8N・m | 2.8N・m | 8.5N・m | 8.5N・m | 0.66N・m/A | 4.5Ω | 0.6mH | 80V/kRPM | 磁気プリロード付きエアベアリング | 3,600g | |
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A-638.A100 |
要見積もり | θZ | 360° | 500分^-1 | ±0.005μm | ±0.005μm | ±0.025μm | ±0.5μrad | ±0.5μrad | インクリメンタル角度測定システム | ±4μrad | ±8μrad | Sin/cos、1Vピーク-ピーク | 31488 | 0.05μrad | 1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク | 鉄筋レス三相トルクモーター | 48V | 80V | 4.5A | 13.9A | 2.8N・m | 2.8N・m | 8.5N・m | 8.5N・m | 0.66N・m/A | 4.5Ω | 0.6mH | 80V/kRPM | 磁気プリロード付きエアベアリング | 11,000g | |
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A-638.B100 |
要見積もり | θZ | 360° | 500分^-1 | ±0.005μm | ±0.005μm | ±0.025μm | ±0.5μrad | ±0.5μrad | 絶対角度測定システム | ±4μrad | ±8μrad | BiSS-C | - | 0.0015μrad | - | 鉄筋レス三相トルクモーター | 48V | 80V | 4.5A | 13.9A | 2.8N・m | 2.8N・m | 8.5N・m | 8.5N・m | 0.66N・m/A | 4.5Ω | 0.6mH | 80V/kRPM | 磁気プリロード付きエアベアリング | 11,000g |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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