A-62x エアベアリング回転ステージ-A-621.025A1
A-62x エアベアリング回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-62x エアベアリング回転ステージ ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

摩擦がなく、インデックス作成、位置決め、スキャン、測定技術に最適。PIglide RMシリーズの電動回転ステージは、精度、精度、高剛性、使いやすさを考慮して設計されており、任意の方向に取り付けることができます。さまざまなオプションを組み合わせて、ポイントツーポイントのインデックス作成や等速スキャンに最適なソリューションを作成できます。 RMステージは、優れた移動精度、平坦性、およびウォブル性能を提供します。摩擦がなく、メンテナンスや潤滑を必要としないため、クリーンルームでの使用に最適です。

■特徴

・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームの直径は50mmから300mmまで ・4,170 Nまでの負荷容量 ・離心率と平坦度 < 200 nm ・垂直または水平に取り付けることができます 概要

■3相トルク モーター

ブラシレス/スロットレス/低コギングトルク/

■アブソリュートエンコーダ (オプション)

アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。したがって、スイッチを入れるときに参照する必要がなく、操作中の効率と安全性が向上します。

■アクセサリーとオプション

エンコーダー/オプションのチップ/チルトプラットフォーム/カスタム取り付けフランジ/真空フィードスルー/スリップリング/PIglideフィルターと空気準備キット/単軸または多軸モーションコントローラおよびサーボドライブ/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野

光学アライメント、計測、検査システム、キャリブレーション、スキャン。 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    A-62x エアベアリング回転ステージ



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A-62x エアベアリング回転ステージ 品番10件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 θZ単位の回転範囲 無負荷時の最大角速度 (θZ) X の線形クロストークと θZ の運動 Yの線形クロストークとθZの運動 Z の線形クロストークと θZ の運動 θX の回転クロストークと θZ の運動 θYの回転クロストークとθZの運動 統合センサー θZでの双方向再現性 位置決め精度 (θZ単位、校正済み) センサー信号 センサー解像度 センサー信号周期 / U センサー分解能、回転式 基準スイッチ ドライブの種類 公称電圧 ピーク電圧 公称電流、実効値 ピーク電流、実効値 駆動トルクは反時計回りにθZで トルクを時計回りにθZで駆動 θZで反時計回りのピークトルク 時計回りのピークトルク (θZ) トルク定数 抵抗相相 インダクタンス相相 逆起電力, 相相, 回転 極ペアの数
A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-621.025A1

A-621.025A1

要見積もり θZ 360 ° 2,500 min⁻¹ ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.05 µm ± 2.5 µrad ± 2.5 µrad インクリメンタル角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad Sin/cos, 1 V peak-peak 0.047 nm 8,192 0.047 µrad 1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期 アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 3.3 A 9.9 A 0.07 N·m 0.07 N·m 0.21 N·m 0.21 N·m 0.03 N·m/A 2.7 Ω 0.1 mH 4.1 V/kRPM 6
A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-621.025B1

A-621.025B1

要見積もり θZ 360 ° 2,500 min⁻¹ ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.05 µm ± 2.5 µrad ± 2.5 µrad 絶対角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad BiSS-C 0.015 nm - 0.0015 µrad - アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 3.3 A 9.9 A 0.07 N·m 0.07 N·m 0.21 N·m 0.21 N·m 0.03 N·m/A 2.7 Ω 0.1 mH 4.1 V/kRPM 6
A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-623.025A1

A-623.025A1

要見積もり θZ 360 ° 1,200 min⁻¹ ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.037 µm ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad インクリメンタル角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad Sin/cos, 1 V peak-peak 0.024 nm 15,744 0.024 µrad 1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期 アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 3.1 A 9.3 A 0.7 N·m 0.7 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 0.26 N·m/A 4.2 Ω 0.4 mH 31.8 V/kRPM 14
A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-623.025B1

A-623.025B1

要見積もり θZ 360 ° 1,200 min⁻¹ ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.037 µm ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad 絶対角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad BiSS-C 0.015 nm - 0.0015 µrad - アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 3.1 A 9.3 A 0.7 N·m 0.7 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 0.26 N·m/A 4.2 Ω 0.4 mH 31.8 V/kRPM 14
A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-623.050A1

A-623.050A1

要見積もり θZ 360 ° 1,200 min⁻¹ ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.037 µm ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad インクリメンタル角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad Sin/cos, 1 V peak-peak 0.024 nm 15,744 0.016 µrad 1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期 アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 3.1 A 9.3 A 0.7 N·m 0.7 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 0.26 N·m/A 4.2 Ω 0.4 mH 31.8 V/kRPM 14
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要見積もり θZ 360 ° 1,200 min⁻¹ ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.037 µm ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad 絶対角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad BiSS-C 0.015 nm - 0.0015 µrad - アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 3.1 A 9.3 A 0.7 N·m 0.7 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 0.26 N·m/A 4.2 Ω 0.4 mH 31.8 V/kRPM 14
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A-624.050A1

要見積もり θZ 360 ° 600 min⁻¹ ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.025 µm ± 1 µrad ± 1 µrad インクリメンタル角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad Sin/cos, 1 V peak-peak 0.016 nm 23,600 0.016 µrad 1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期 アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 2.3 A 6.9 A 1.57 N·m 1.57 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 0.59 N·m/A 6.7 Ω 0.9 mH 71 V/kRPM 24
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A-624.050B1

要見積もり θZ 360 ° 600 min⁻¹ ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.025 µm ± 1 µrad ± 1 µrad 絶対角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad BiSS-C 0.015 nm - 0.0015 µrad - アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 2.3 A 6.9 A 1.57 N·m 1.57 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 0.59 N·m/A 6.7 Ω 0.9 mH 71 V/kRPM 24
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A-625.065A1

要見積もり θZ 360 ° 500 min⁻¹ ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.025 µm ± 1 µrad ± 1 µrad インクリメンタル角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad Sin/cos, 1 V peak-peak 0.012 nm 31,488 0.012 µrad 1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期 アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 2.3 A 6.9 A 1.57 N·m 1.57 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 0.59 N·m/A 6.7 Ω 0.9 mH 71 V/kRPM 24
A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-625.065B1

A-625.065B1

要見積もり θZ 360 ° 500 min⁻¹ ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.025 µm ± 1 µrad ± 1 µrad 絶対角度測定システム ± 4 µrad ± 8 µrad BiSS-C 0.015 nm - 0.0015 µrad 1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期 アイロンレス3相トルク モーター 48 V 80 V 2.3 A 6.9 A 1.57 N·m 1.57 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 0.59 N·m/A 6.7 Ω 0.9 mH 71 V/kRPM 24

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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