高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ ピーアイ・ジャパン株式会社
ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
0.6時間
この製品について
■特徴
・10 -9hPaまでの真空対応 ・無制限の走行範囲 ・非常に高い解像度 ・ステッピングモーター ・方向感知基準スイッチ ・多軸セットアップが可能■リファレンスクラスの回転ステージ
・遊びの少ない予圧ウォームギヤの採用により高精度の位置決めが可能です。 ・高い移動精度を実現するプリロードされたピボットベアリング。 ・35mmØのクリアな開口部。 ・両回転方向の無制限の移動範囲。 ・リファレンススイッチ。■特に真空環境での使用向けにアウトガスを低減
・最も注目すべき点は、ガイドとスピンドルの潤滑に、ガス放出が特に少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。 ・PI V6真空クラスのこの変更およびその他の変更により、このポジショナーは最大10-6hPaまで使用できます。■高真空用途向けの高品質
この場合、モーター、測定システム、リミットスイッチなど、高真空に適した特殊な部品が使用されます。また、表面はノンコートアルミニウム製、スピンドルとガイドはステンレス製です。これにより、PI V7真空クラス、つまり最大10-7 hPa に達します。■超高真空における特殊要求に最高の品質を提供
・この真空クラスでは、最大10-9hPaのPI V9真空クラスを達成するために、超高真空に適したコンポーネントのおかげで製品が細部にわたって最適化されています。 ・とりわけ、この目的には選択された種類のプラスチックのみが使用され、ベークアウト温度は測定システムありで120℃、測定システムなしでそれぞれ150℃が適用されます。■オプション：移動精度・位置決め精度測定
ご要望に応じて、ぐらつき、軸方向、および半径方向のクリープに関する個別の測定ログをご利用いただけます。■応用分野
真空チャンバー・研究・ビームライン機器・顕微鏡検査・電子機器の組み立てと検査-
シリーズ
高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ
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取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
回転ステージ注目ランキング
回転ステージの製品63点中、注目ランキング上位6点
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高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ 品番3件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 回転範囲θZ | 最大角速度 (θZ、無負荷時) | θZの動きによるXの線形クロストーク | θZの動きによるYの線形クロストーク | θZの動きによるZの線形クロストーク | θZの動きによるθXの回転クロストーク | θZの動きによるθYの回転クロストーク | θZにおける一方向の繰り返し精度 | θZの双方向繰返し精度 | θZの最小増分運動 | 基準スイッチ | ドライブタイプ | モーターの分解能 | 公称電圧 | ピーク電圧 | 公称電流、RMS | 抵抗相間 | インダクタンス相間 | ベアリングの種類 | ウォームギヤ減速機 | θZで移動した質量、無負荷 | 慣性モーメント (θZ、無負荷) | X方向の許容押付け力 | Y方向の許容押付け力 | 使用温度範囲 | コネクタ | 推奨コントローラー/ドライバー | 真空クラス | ケーブルの長さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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L-611.991200V6 |
要見積もり | θZ | 360° | 20°/秒 | ±2.5μm | ±2.5μm | ±1μm | ±15μrad | ±15μrad | 20μrad | ±175μrad | 8.72μrad | ホール効果、N/C接点、5V、NPN | 2相ステッピングモーター | 200フルステップ/回転 | 24V | 48V | 1.2A | 3.3Ω | 2.8mH | ボールベアリング | 90：1 | 1,100g | 770kg・mm² | 50N | 50N | 5~40℃ | HD D-sub 26ピン (オス) |
C-663.12 C-885とC-663.12C885 ACSモジュラーコントローラー |
10^-6hPa | - | |
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L-611.991300V7 |
要見積もり | θZ | 360° | 20°/秒 | ±2.5μm | ±2.5μm | ±1μm | ±15μrad | ±15μrad | 20μrad | ±175μrad | 8.72μrad | ホール効果、N/C接点、5V、NPN | 2相ステッピングモーター | 200フルステップ/回転 | 24V | 48V | 1.2A | 3.3Ω | 2.8mH | ボールベアリング | 90：1 | 1,100g | 770kg・mm² | 50N | 50N | 5~40℃ | D-sub15極 (メス) |
C-663.12 C-885とC-663.12C885 ACSモジュラーコントローラー |
10^-7hPa | 2m | |
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L-611.991600V9 |
要見積もり | θZ | 360° | 20°/秒 | ±2.5μm | ±2.5μm | ±1μm | ±15μrad | ±15μrad | 20μrad | ±175μrad | 8.72μrad | ホール効果、N/C接点、5V、NPN | 2相ステッピングモーター | 200フルステップ/回転 | 24V | 48V | 1.2A | 3.3Ω | 2.8mH | ボールベアリング | 90：1 | 1,100g | 770kg・mm² | 50N | 50N | 5~40℃ | D-sub15極 (メス) |
C-663.12 C-885とC-663.12C885 ACSモジュラーコントローラー |
10^-9 hPa | 2m |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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