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基板搬送装置
メーカー11社【2024年】

基板搬送装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、基板搬送装置のメーカー11社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。基板搬送装置関連企業の2024年12月注目ランキングは1位:シンフォニアテクノロジー株式会社、2位:KnK株式会社、3位:株式会社明和機器となっています。

基板搬送装置とは？
基板搬送装置のメーカー11社
基板搬送装置2製品

基板搬送装置とは

基板搬送装置とは、プリント基板や半導体ウェハーを自動的に搬送する装置です。

主に電子機器や半導体製造プロセスで使用されます。基板を一貫して所定の位置に移動させる役割を果たし、製造ラインでの効率を高め、手作業でのミスやリスクを低減します。通常はロボットアームやコンベア、真空チューブなどを使用して基板を搬送します。

基板搬送装置の使用用途

基板搬送装置は以下のような用途で使用されます。

1. 半導体製造

半導体ウェハーの製造工程では、基板搬送装置が基板をクリーンルーム内で搬送するために使用されます。エッチングやリソグラフィなどの工程で基板を正確に移動させる役割を果たします。ウェハーに傷や汚れが付かないように取り扱い、安定した生産を支えます。

2. プリント基板製造

プリント基板の製造ラインでも基板搬送装置は重要な役割を果たします。基板に配線する工程や穴開け工程で、次の工程に正確に移動させるために使用されます。特に、電子機器の組み立てにおいては、多くの基板を効率よく搬送することが重要です。

3. 液晶パネル製造

液晶パネルの製造においても基板搬送装置を使用することが多いです。液晶パネルの製造プロセスでは大型のガラス基板が使用されるため、傷つけないように慎重に扱う必要があります。基板搬送装置はこれらの基板を各工程で安全かつ効率的に移動させる役割を果たします。

4. 太陽光パネル製造

太陽光パネルの製造過程でも基板搬送装置が使用されます。太陽光パネルの基板は大きくかつ重いため、搬送装置はその取り扱いに特別な配慮が必要です。基板搬送装置は太陽光パネルの組立や検査工程を効率よく支えています。

基板搬送装置の原理

基板搬送装置は基板を自動的かつ精密に搬送するために、様々な技術を組み合わせています。

まず、基板搬送装置は基板を正確に位置決めするために高精度のセンサーや制御システムを使用します。リニアエンコーダや位置センサーを使って基板の移動を監視し、位置ずれを防ぎます。搬送装置には基板が所定の位置に正確に移動するように、プログラムによる制御システムが組み込まれています。

一部の高精度搬送装置ではエアクッションや磁気浮上を用いて基板を浮かせ、摩擦を最小限に抑えることがあります。エアクッション方式では空気の流れを利用して基板を浮かせることで、摩擦による傷や汚れを防ぎます。磁気浮上方式では磁力を利用して基板を浮かせ、スムーズに移動させる仕組みです。

また、基板搬送装置では静電気による不具合を防ぐために、静電気対策が施されていることがほとんどです。特に半導体の製造では静電気が基板に損傷を与える可能性があるため、導電性の素材を使用したり、静電気除去装置を備えたりしています。

基板搬送装置の種類

基板搬送装置には以下のような種類があります。

1. 真空搬送

真空搬送装置は吸着パッドを使って基板を吸引・移動させる装置です。特に半導体や液晶パネルなど、精密な基板を扱う場合に適しています。基板が傷つくリスクが少なく、非常に高い精度で搬送できる点が特徴です。

2. ロボットアーム

ロボットアーム搬送装置は機械的なアームを使って基板を持ち上げ、指定された場所へ搬送する装置です。ロボットアームは自由度が高いため、複雑な搬送経路を設定でき、多品種少量生産のラインにも柔軟に対応できます。特に基板の形状やサイズが異なる場合に便利で、製造ラインの柔軟性が求められる場面でよく使用されます。

3. コンベア

コンベア搬送装置はベルトやローラーを使って基板を一定の速度で移動させるシンプルで効率的な方式です。基板が決まった順番で直線的に移動するため、大規模な製造ラインでの基板搬送に適しています。大量の基板を効率よく搬送できるため、コストパフォーマンスにも優れています。

4. 磁気搬送装置

磁気搬送装置は強力な磁石を使用して基板を浮かせ、移動させる方式です。磁力を利用することで、基板を摩擦なく安定して搬送します。高速で基板を搬送することができ、効率も高い搬送方式です。

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