欠陥検査装置
メーカー25社【2025年】

欠陥検査装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、欠陥検査装置のメーカー25社一覧や企業ランキングも掲載しております。欠陥検査装置関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:株式会社アヤハエンジニアリング、2位:ナガセテクノエンジニアリング株式会社、3位:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズとなっています。

欠陥検査装置とは？
欠陥検査装置のメーカー25社
欠陥検査装置101製品

欠陥検査装置とは

欠陥検査装置とは、製品や部品の欠陥を検出するための検査装置です。

特に外観の欠陥検査を行うための装置は、外観検査装置と呼ばれる場合もあります。装置の一部は、赤外線などを用いることで内部欠陥を検出することが可能です。金属製品や樹脂製品の欠陥検出の他、OCRなどを用いて食品パッケージの欠陥を検出することなどにも使用されます。

欠陥検査装置の使用用途

欠陥検査装置は、機械、電子・半導体、金属、食品など様々な製造分野で利用されている装置です。主に下記のような欠陥の検出に使用されます。

製品表面のキズや汚れ
布に付着した汚れや縫製不良
樹脂やゴムの成型時に発生する欠けやバリ
塗装面の変色や色ムラ
食品パッケージなどの印字検査 (OCR) 、穴や異物

また、このような欠陥検査が行われる製品には、下記のようなものがあります。

リチウムイオン二次電池の部材 (電極、電極セパレータ)
ベアリング・ボルト・ネジ
プリント基板
半導体ウエハ
フラットパネルディスプレイ⽤の各種フィルム
タッチパネル、タッチデバイス
紙・不織布・炭素繊維
板ガラス
FCCL用の金属箔
自動車用の鋼板
リードフレーム
圧延・電解銅箔
アルミ材
食品パッケージ
医薬品容器

欠陥検査装置の原理

1. 欠陥検査装置で検出される欠陥の例

傷やクラック
欠け・バリ
汚れや凹み
寸法異常
位置・角度の異常
異物付着・混入
形状異常
変色
印字不備 (OCR検査)

2. 欠陥を検出する仕組み

欠陥検査装置が欠陥を検出する仕組みには、画像処理方式やレーザースキャン方式などがあります。

画像処理方式では、CCDカメラなどのカメラで撮影した画像データを処理して欠陥検査を行います。あらかじめ良品の情報を登録しておき、撮影したデータと照合して合否判定を行う仕組みです。また、AIを用いて不良検出を行う仕組みも近年取り入れられています。

レーザースキャン方式では対象物に光学レーザーを照射し、反射光の分析によって表面の傷や欠陥を検査します。一般的に、画像処理方式よりも高精度な検査が可能です。また、内部欠陥の検出が可能な製品もあります。レーザーの種類には、平行ビーム型とレーザー集光型、可変焦点方式があります。平行ビーム型が安定した照射が可能であるのに対し、レーザー集光型は検査精度が高いことが特徴です。可変焦点方式は、集光スポットが安定しないというレーザー集光型の弱点を克服しています。

欠陥検査装置の種類

欠陥検査装置には、検査対象物によって様々な種類があります。半導体産業で使用されるウエハ欠陥検査装置や、電子部品用検査装置、不織布向け欠陥検査装置、パッケージの検査などに使用されるOCR文字検査装置などがあります。

1. ウエハ欠陥検査装置

ウエハ欠陥検査装置は、半導体産業で使用されるウエハの欠陥検出に特に特化している欠陥検査装置です。

半導体ウエハには、同じパターンの電子デバイスが並んで製造されます。欠陥は、異物などのごみに起因してランダムに発生することが多く、特定の場所に繰り返し発生する確率は、非常に低いと考えられます。典型的なウエハ欠陥検査装置であるパターン付きウエハ検査装置は、隣接するチップのパターンの画像同士を比較し、その差分を取ることで、欠陥を検出します。

一方、パターン無し検査装置は、異物や欠陥にレーザー光線が当たると、光が散乱することを利用し、レーザー照射と散乱光の検出によって欠陥検出を行います。主に、ウエハメーカーによる出荷検査、デバイスメーカーにおける受け入れ検査、などに使用される装置です。

その他、赤外光による内部欠陥検査を行うことができる装置もあります。

2. 電子部品用欠陥検査装置

電子部品用欠陥検査装置では、各種基板やイメージセンサなどの外観検査を行う装置などがあります。

セラミック基板に発生するクラックや汚れ、オーバーエッチング、パターンショート等の欠陥検査に特化した装置や、出荷前イメージセンサ製品の素子面・ケース内面・ワイヤ接合部・ガラス面それぞれに適した欠陥検査装置などがあります。これらの装置では、微細な異物や欠陥の検出や、膨れや凹みといった立体的な欠陥も検出することが可能です。

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欠陥検査装置メーカー 25社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

- - 株式会社アヤハエンジニアリングメーカー
    暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4600
  - 会社サイト創業: 1974年従業員数: 48人資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 滋賀県東近江市小田苅町２００３
- - 東レエンジニアリング株式会社メーカー
    ウエーハ内部欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 1960年従業員数: 2,417人会社詳細
  - 住所: 東京都中央区八重洲1丁目3番22号
- - 日本電子株式会社メーカー
    ウエハプロセス評価装置&超微細加工評価装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1949年従業員数: 3,291人会社詳細
  - 住所: 東京都昭島市武蔵野3丁目1番2号
- - 信越化学工業株式会社メーカー
    マクロ検査装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1926年従業員数: 25,717人会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区丸の内一丁目4番1号
- - レーザーテック株式会社メーカー
    SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置
  - 会社サイト創業: 1960年従業員数: 402人資本金: 931,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-10-1
- - タカノ株式会社メーカー
    表面欠陥検査装置 ZEBBRA
  - 会社サイト創業: 1941年従業員数: 593人資本金: 2,015,900,000円会社詳細
  - 住所: 長野県上伊那郡宮田村137
- - 株式会社日立ハイテクメーカー商社・代理店
    暗視野式ウェーハ欠陥検査装置 DI4600
  - 会社サイト創業: 1947年従業員数: 11,903人資本金: 793,848,525円会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 株式会社中央電機計器製作所
    微細欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 1930年従業員数: 50人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市都島区内代町2-7-12
- - 株式会社ミウラセンサー研究所
    CCDセンサーチップ傷欠陥検査装置
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 宮城県多賀城市八幡字一本柳3番12
- - 株式会社フィジックステクノロジー
    ステント・心臓弁製造検査装置一覧
  - 会社サイト創業: 2005年資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 千葉県市川市南八幡4-2-5　いちかわ情報プラザ
- - 株式会社オプティマ
    ウェーハエッジ自動欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 2015年資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-8-18
- - 株式会社オプセル
    3D光切断型欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 2001年資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川口市上青木3-12-18
- - 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
    欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 2006年資本金: 310,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
- - 日本セミラボ株式会社
    結晶欠陥検査
  - 会社サイト創業: 1987年会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル 6階
- - 山下電装株式会社
    表面欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 1974年従業員数: 16人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市北野台5-25-10
- - 列真株式会社
    欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 2015年会社詳細
  - 住所: 東京都品川区東品川2-2-25サンウッド品川天王洲タワー3F
- - レイリサーチ株式会社
    欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 7人資本金: 30,147,500円会社詳細
  - 住所: 群馬県藤岡市藤岡1690-5
- - フロンティアシステム株式会社
    欠陥検査システム
  - 会社サイト創業: 1990年資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 滋賀県大津市月輪3丁目70番18号
- - ビーエスティ・エルトロマット・ジャパン株式会社
    100%欠陥検査装置【iPQ-Check】
  - 会社サイト創業: 1989年従業員数: 16人資本金: 25,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府岸和田市地蔵浜町7-11
- - ナガセテクノエンジニアリング株式会社
    表面欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 1989年会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋小舟町5番1号
- - タイヨー電機株式会社
    レーザー式高速広視野欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 1986年従業員数: 15人資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38 新大阪西浦ビル204号
- - イズミ産業株式会社
    不良品リジェクト装置
  - 会社サイト資本金: 20円会社詳細
  - 住所: 静岡県富士市大淵2370-2
- - アテル株式会社
    自動欠陥検査装置
  - 会社サイト創業: 2004年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 広島県福山市千代田町1-13-31
- - ANALYZER株式会社
    穴検査ならアナライザー！カメラや目視で見えない欠陥を量産ラインで自動判別
  - 会社サイト創業: 2022年従業員数: 15人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 広島県東広島市鏡山3丁目13-60クリエイトコア11号室
- - 東京エレクトロンデバイス株式会社商社・代理店
    欠陥検査装置
  - 会社サイト会社詳細
  - 本社:

欠陥検査装置 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社アヤハエンジニアリング	12.5%
2	ナガセテクノエンジニアリング株式会社	10.4%
3	株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ	8.3%
4	株式会社日立ハイテク	6.3%
5	東レエンジニアリング株式会社	6.3%
6	株式会社オプティマ	6.3%
7	ANALYZER株式会社	6.3%
8	フロンティアシステム株式会社	4.2%
9	山下電装株式会社	4.2%
10	東京エレクトロンデバイス株式会社	4.2%