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めっき装置のメーカー32社一覧や企業ランキングを掲載中！めっき装置関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:株式会社島谷技研、2位:株式会社トーア電子、3位:株式会社荏原製作所となっています。 めっき装置の概要、用途、原理もチェック！
めっき装置とは、ウエハ上に配線膜を形成する際に使用される産業用の機械のことです。
ウエハの成膜工程は、絶縁膜、半導体膜、配線膜の3種類の薄膜をウエハ上に形成するプロセスであり、めっき装置はこの中の配線膜の形成に使われます。
めっき技術は、湿式めっきと乾式めっきの2種類に分類可能です。湿式めっきでは水溶液を使用し、乾式めっきでは蒸発させた金属を使います。乾式めっきは真空中内でめっきを行い、具体例はスパッタリング、イオンブレーティング、真空蒸着などです。
湿式めっきは電解めっきや無電解めっきに分けられ、めっき装置にも電解めっき装置や無電解めっき装置があります。電解めっきや無電解めっきは、4種類のめっき方式に分類可能です。電解めっきにはフェイスアップ式、フェイスダウン式、縦型ディップ式があり、無電解めっきには縦型ディップ式やライズアップ式があります。
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2025年6月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社島谷技研 |
11.6%
|
| 2 | 株式会社トーア電子 |
9.1%
|
| 3 | 株式会社荏原製作所 |
7.1%
|
| 4 | 株式会社中央製作所 |
4.5%
|
| 5 | 株式会社ケミトロニクス |
4.2%
|
| 6 | 東邦インターナショナル株式会社 |
3.8%
|
| 7 | 株式会社バンボステクノ |
3.6%
|
| 8 | 株式会社ファシリティ |
3.6%
|
| 9 | 中川化学装置株式会社 |
3.3%
|
| 10 | 株式会社新和工業 |
3.3%
|
株式会社東設
670人以上が見ています
最新の閲覧: 58分前
■HDD業界全社に磁性膜めっき装置の納入実績あり フェイスアップ式は、HDD磁気ヘッド用途の磁性薄膜形成プロセスにおいて、30年の長きに...
株式会社中央製作所
100人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
20.1時間 返答時間
省力化と高い生産性を実現。多様なニーズにフレキシブルに対応。
株式会社中央製作所
130人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
20.1時間 返答時間
シンプル構造で高生産性を実現。多様なニーズにフレキシブルに対応できる豊富なオプションを用意。
株式会社東設
680人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
カセットToカセット全自動搬送タイプ フェイスダウン式（カップ噴流式）電解めっき装置です。 ウエハカセットをローダーにセット後、搬...
株式会社東設
730人以上が見ています
最新の閲覧: 22時間前
ウエハや樹脂、ガラス、セラミックス基板などのワークをラック治具に手動で取付け、治具をローダーにセット後、ロボットによる自動搬送...
2種類の品番
株式会社中央製作所
110人以上が見ています
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
20.1時間 返答時間
バレル回転駆動で高生産性を実現。多様なニーズにフレキシブルに対応できる豊富なオプションを用意。
株式会社東設
870人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
めっきプロセスの研究開発、新規製品の試作、少量生産など、お客様の用途、予算に応じた装置のご提案をさせて頂きます。 量産用途の4つ...
5種類の品番
株式会社イーデンキ
90人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
100.0% 返答率
220.6時間 返答時間
※写真に「HARP」というロゴが入っている商品がございますが、実物には貼付・刻印はございません。 ■特徴 ロジュームメッキ液高騰の今、...
株式会社新和工業
130人以上が見ています
■用途 ・3価/6価クロメート ・テスト処理 ・メッキ前処理 ・メッキ後処理 ■特長 製品に合わせて揺動選択ができます。 ■対話プログラミ...
株式会社ファイコーポレーション
310人以上が見ています
最新の閲覧: 18時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.8時間 返答時間
■装置概要 メッキ後のワークを防錆処理し、水洗・乾燥を行う装置です。薄いワーク・厚いワークを両方流すため、タッチパネルの切り替え...
株式会社イーデンキ
70人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
220.6時間 返答時間
※写真に「HARP」というロゴが入っている商品がございますが、実物には貼付・刻印はございません。 ■特徴 更なる使いやすさ、更なる小型...
株式会社新和工業
120人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■特長 ・製品に合わせて揺動選択ができます。 ・水切反転機取付により乾燥が速くなります。 ・走行ラック方式にスピードアップ。
株式会社新和工業
140人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■用途 ・メッキ装置 ・化学メッキ装置 ・皮膜処理 ■特長 ・工程選択が簡単にできます。 ・1バレル電流調節可能。 ・バレル穴アケ改良に...
株式会社新和工業
160人以上が見ています
■用途 ・バレルメッキ ・化学メッキ ・皮膜処理 ・洗浄装置 ■特長 バレル穴アケ改良により処理時間のスピードアップ。 ( 特許出願中)
株式会社新和工業
150人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■用途 ・電子部品メッキ ・金/銀ロジュウムメッキ ・洋食器メッキ ■特長 ・アルミサッシケース入り可能。 ・排気が完全になります。
株式会社新和工業
220人以上が見ています
最新の閲覧: 9時間前
■用途 ・吊下用メッキ ・化学メッキ ・皮膜処理 ・洗浄処理 ■特長 ・狭い場所可能。 ・装置が簡単です。 ・パス機構可能。 ・遅速昇降...
株式会社新和工業
140人以上が見ています
■用途 ・吊下用メッキ ・化学メッキ ・皮膜処理 ・洗浄処理 ■特長 ・吊置可能。 ・パス機構可能。 ・遅速昇降可能。
株式会社新和工業
140人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■用途 ・電子部品 ・装飾部品 ・小物部品 ■特長 ・市販品オートギルダー使用可能 ・オートギルダー引掛方式。 ・オートギルダー取替可...
株式会社新和工業
160人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■用途 ・電子部品 ・装飾部品 ・小物部品 ■特長 ・ラインが直線に設計出来る。 ・タフト機構により能力大。 ・機構が簡単なため故障が...
株式会社新和工業
120人以上が見ています
■用途 ・リン酸皮膜 ・黒染皮膜 ・ボンデ処理 ・パーカ処理 ・クロメート処理 ・洗浄 ■特長 ・下降時揺動又は振動。 ・ワンモータシス...
株式会社新和工業
130人以上が見ています
■用途 ・リン酸皮膜 ・黒染皮膜 ・ボンデ処理 ・パーカ処理 ・クロメート処理 ・洗浄 ■特長 ・処理時間自由選択 ・処理工程変更可能 ・...
株式会社新和工業
130人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■用途 ・電子部品 ・ハンダ付部品 ・ろう付部品 ・くさり (チェーン) ・プラスチックフープ
ユアサプライムス株式会社
最新の閲覧: 15時間前
■おすすめのポイント ・コンパクトで持ち運びがかんたん。家庭用電源100V (50～60Hz) と水があればメッキが手軽にできる。 ・サインペン...
めっき装置とは、ウエハ上に配線膜を形成する際に使用される産業用の機械のことです。
ウエハの成膜工程は、絶縁膜、半導体膜、配線膜の3種類の薄膜をウエハ上に形成するプロセスであり、めっき装置はこの中の配線膜の形成に使われます。
めっき技術は、湿式めっきと乾式めっきの2種類に分類可能です。湿式めっきでは水溶液を使用し、乾式めっきでは蒸発させた金属を使います。乾式めっきは真空中内でめっきを行い、具体例はスパッタリング、イオンブレーティング、真空蒸着などです。
湿式めっきは電解めっきや無電解めっきに分けられ、めっき装置にも電解めっき装置や無電解めっき装置があります。電解めっきや無電解めっきは、4種類のめっき方式に分類可能です。電解めっきにはフェイスアップ式、フェイスダウン式、縦型ディップ式があり、無電解めっきには縦型ディップ式やライズアップ式があります。
めっき加工は、金属や非金属物の表面に金属の膜を形成する加工方法です。工業製品に広く用いられ、現在ではめっきは電気製品やパソコンに必要不可欠な技術になりました。
めっきの目的は耐食性や機能性の向上です。金属は素地の状態では酸化して変色します。酸化に強い金属をめっきすると、錆を防止可能です。機能を持たせる場合には、機能性めっきと呼びます。接触抵抗が少ない電気的特性を付与して、複数の部品が接触する箇所の摩擦を減少させ、滑りを良くして摺動性を向上できます。
めっきは装飾性の向上にも利用可能です。見た目を美しく飾ることを装飾めっきと言い、視覚的美感を与えるために使われます。具体例は電気製品の外装部品や筐体、自動車のエンブレム、アクセサリーの装身具などです。
電解めっき装置は、外部電源の電気エネルギーによってめっきする装置です。ウエハを硫酸銅などのめっき液に浸して、銅板を陽極に、ウエハを陰極にして電流を流すと、ウエハの表面に銅の薄膜が作られます。流した電気が金属イオンの還元反応にすべて使用された場合には、流した電気量が析出するめっきの量になります。単位面積にかかる電流値を計算すれば、電気を流した時間で制御可能です。
事前にウエハの絶縁膜には、トレンチやビアホールをエッチングで掘って配線パターンを設計します。めっきをかけるとトレンチやビアホールのような溝や穴が銅配線になる仕組みです。めっきの後にはCMP装置 (英: Chemical Mechanical Polisher) で余計な薄膜を研磨除去する工程があります。
無電解めっき装置は、電気を用いず化学反応のエネルギーでめっきする装置です。無電解めっきは、還元めっきと置換めっきの2種類の析出方法に分類可能です。
還元めっきは、還元剤が被加工物の表面上で電子を放出するためめっきが析出します。銅めっきやニッケルめっきでは、めっきされた金属表面が触媒として働き、還元剤による電子放出反応が進んで膜厚が厚くなります。
置換めっきでは、めっき液中の金属イオンと被加工物の表面の金属が交換する反応を利用可能です。銅を金めっき液に浸すと銅が溶けて電子を金イオンが受け取るため、金めっきが析出します。被加工物の表面をめっきが覆うと金属が溶解せず、めっきが析出しなくなるため厚膜を作れません。
電解めっき装置は、数μm程度の微細な配線パターンにも対応可能です。膜厚を厚くでき、液管理が容易です。メンテナンス性やコスト性が良く、長期的に安定しています。しかしそれぞれのウエハを処理する枚葉式であり、時間当たりのウエハの処理枚数を上げにくいです。細かくセッティングしないと、膜厚にばらつきが出やすいです。
それに対して無電解めっき装置は、同時に複数枚のウエハを処理できます。大量生産が可能で、膜厚に均一性が出やすいです。UBM (英: Under Barrier MetalまたはUnder Bump Metal) と呼ばれる電極端子部分のめっきでは、電解めっきで必須となるバンプ形成の配線パターンが不要であり、大幅に工程を削れます。数μmレベルの微細な配線パターンに対応しにくく、膜厚を厚くできますが、時間がかかるため適していません。温度、濃度、pHのような厳しい液管理によって、化学反応をコントロールする必要もあります。
目的に合わせてめっき方式を選択することが重要です。フェイスアップ式は膜厚分布が良く、合金の組成安定性に優れています。高腐食性めっき膜に対応し、カセットからカセットへの搬送が可能です。材料には磁性材料、銅、ニッケル、金が使用されています。
フェイスダウン式や縦型ディップ式はフットプリントが小さいです。材料に銅、ニッケル、金が使われています。縦型ディップ式は角基板や大型基板にも対応しています。ライズアップ式はワークの裏面端面の保護が不要です。無電解CoWB、銅、ニッケル、金、パラジウムが材料に用いられています。
