半導体洗浄装置メーカー19社

半導体洗浄装置のメーカー19社一覧や企業ランキングを掲載中！半導体洗浄装置関連企業の2025年3月注目ランキングは1位:HUGパワー株式会社、2位:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ、3位:株式会社ダン科学となっています。半導体洗浄装置の概要、用途、原理もチェック！

商品知識

半導体洗浄装置の概要・用途・原理

半導体洗浄装置とは、半導体製造工程の1つである洗浄工程に用いられる装置の総称です。

洗浄工程は半導体製造工程全体の30〜40％を占める重要な工程です。高温処理工程や薄膜形成工程の前に十分に汚れを除去する前処理としての洗浄と、酸化膜・薄膜を削るエッチング工程の後にレジスト残滓物などを除去する後工程としての洗浄があります。

半導体洗浄装置は、薬液や純水を使用するウェット洗浄装置と薬液を使用しないドライ洗浄装置に大別されます。

19社半導体洗浄装置メーカー

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

HUGパワー株式会社

半導体向け蒸気2流体洗浄装置ASTE（アステ）

エッチング後のレジストやポリマ除去
ウェハ上の異物除去に有効

特徴として
・用力は電気と水のみ
・Au膜のリフトオフも可能
・ランニングコストを大幅に削減
・高価なアミン系剥離剤がいらない

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半導体製造
半導体洗浄装置

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

半導体洗浄装置一覧（枚葉式、バッチ式、ブラシ式）

【業界シェアNo.1】 ※当社調べ
・世界最高レベルの生産性と優れた洗浄品質を提供
・環境負荷低減への取り組み（排気、ガス、薬液の使用量削減）
・IoT技術による装置稼働状況の管理
・薄ウエハや化合物ウエハへの対応

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半導体製造
半導体洗浄装置

株式会社ダン科学

300mmウェハカセットレス洗浄装置

☆ 50枚搬送により、高スループットを実現
☆ 国内外に多数の納入実績有
☆ 超音波槽に独自のウェハ回転機構搭載可（特許取得済）
☆ ウェットイン➡ドライアウト(Pre Cleaner)
　ドライイン➡ドライアウト(Final Cleaner)双方対応可能
☆ 洗浄工程はお客様仕様にフルカスタム設計

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半導体製造
半導体洗浄装置

株式会社ゼビオス

【半導体洗浄装置】特許取得済み SiC / GaN / GaO3 / Si / LT / LN に対応

◾️LT / LN 出荷用の洗浄で国内シェア多数！
◾️表裏・端面同時洗浄
◾️スクラブ洗浄と機能水・薬液を使い分ける事により、ナノレベル洗浄に対応
◾️ユーティリティ設備の削減
◾️業界初１チャンバーで多品種・多目的洗浄に対応

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半導体製造
半導体洗浄装置

芝浦メカトロニクス株式会社

【半導体洗浄装置】ウェーハ製造工程向け研磨後洗浄装置　SC300-CC series/実績豊富

・累計220台以上の実績から先端用途のウェーハ製造に貢献
・オゾン水と希フッ酸の交互処理により、洗浄後におけるウェーハ表面を厳密に制御することで表面粗れを抑制
・処理室内に生じるミスト影響を抑制する構造により、高い洗浄性能と安定性を実現
・各社の研磨装置とドッキング可能

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半導体製造
半導体洗浄装置

日本ゴア合同会社

【半導体洗浄装置】高濃度オゾン水で洗浄プロセスを効率化

・無気泡で高清浄度の高濃度オゾン水を生成可能。
・延伸多孔質PTFEメンブレンによってオゾンガス中のパーティクルを除去。
・連続運転時に安定したオゾン水濃度と流量を維持可能。
・半導体やFPD製造向けオゾン水製造での豊富な使用実績。

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半導体製造
半導体洗浄装置

- - HUGパワー株式会社
    半導体蒸気2流体洗浄装置
  - 会社サイト創業: 2012年従業員数: 9人資本金: 71,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市緑区長津田町4259番　東京科学大学J3研究棟409
- お気軽相談無料見積り安心サポート
  HUGパワー株式会社は「蒸気2流体」及び「高濃度オゾン水」など機能水を利用した、化学薬品に頼らない洗浄装置の販売とそのコアモジュールの開発・設計を主業務としております。
- - 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
    半導体洗浄装置一覧（枚葉式、バッチ式、ブラシ式）
  - 会社サイト創業: 2006年資本金: 310,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
- 環境負荷低減世界レベルの生産性優れた洗浄品質の提供
  進化をとげる、世界シェアNo.1*洗浄装置　*当社調べ
  
  80年の歴史と最先端の技術を京都から世界へ
  先進のテクノロジーとイノベーションをお客さまにお届けし、豊かで明るい未来社会の実現に貢献してまいります
- - 株式会社ダン科学
    ３００mmウェハカセットレス洗浄装置、ＰＦＤ洗浄装置、精密部品洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1959年従業員数: 35人資本金: 48,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都東京都八王子市美山町2161-5
- お気軽相談無料見積り安心サポート
  創業当初より、秒速で進化していく電子産業界が求める厳しい精密性と高い信頼性に応えるため、スーパークリーンな環境で各種洗浄装置・空気清浄装置などの開発・製造から検査までを一貫して自社で行います。
- - 株式会社ゼビオス
    【特許取得済み】スクラブ洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1995年会社詳細
  - 住所: 埼玉県入間市中神508−2
- 環境に優しい特許取得
  ゼビオスは、液晶・半導体装置関連のニーズとシーズを捉え、提案型の装置設計、製造を目的として設立された会社です。
- - 芝浦メカトロニクス株式会社メーカー
    ウェーハ製造工程向け研磨後洗浄装置　SC300-CC series
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1939年従業員数: 1,211人資本金: 6,761,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
- 仕様の多彩な選択肢ベベル部の洗浄対応ウェーハ製造に最適
  半導体・FPD製造装置の前後工程を手掛ける企業です。高い技術力・独自性を持つグローバルニッチトップ製品を中心に豊富な実績を有し、コア技術を強みに製品開発から保守サービスまでトータルサポートします。
- - 日本ゴア合同会社
    半導体洗浄プロセス用オゾネーションモジュール
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都港区港南1-8-15 Wビル14F
- グローバル企業高品質経験豊富なスタッフ
  ゴアは、業界へ変革をもたらすことで人々の生活の向上に尽力する、材料科学に強みを持つグローバルカンパニーです。
- - 株式会社SCREENホールディングスメーカー
    FC-3100
  - 会社サイト創業: 1943年従業員数: 6,074人会社詳細
  - 住所: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
- - 三益半導体工業株式会社メーカー
    MC3000シリーズ
  - 会社サイト創業: 1969年従業員数: 1,105人会社詳細
  - 住所: 群馬県高崎市保渡田町2174番地1
- - ダイキンファインテック株式会社メーカー
    半導体洗浄装置/MEMS洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1956年従業員数: 265人資本金: 66,000,000円会社詳細
  - 住所: 奈良県大和郡山市今国府町6番2号
- - タツモ株式会社メーカー
    枚葉式エッチング・洗浄システムCENOTE
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1972年従業員数: 354人会社詳細
  - 住所: 岡山県岡山市北区芳賀5311
- - サムコ株式会社メーカー
    ドライ洗浄装置一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1979年従業員数: 173人資本金: 1,663,687,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地
- - 株式会社スリーダイン
    シリコンウエーハ洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 50人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 熊本県八代市郡築三番町82-1
- - 株式会社エムテーシー
    洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1982年資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県さいたま市大宮区桜木町4丁目705番1
- - 株式会社MTK
    枚葉式洗浄装置
  - 会社サイト創業: 2007年会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市金沢区鳥浜町12番64 YPC研究棟2階
- - 株式会社JET
    半導体洗浄装置
  - 会社サイト創業: 2009年会社詳細
  - 住所: 岡山県浅口郡里庄町新庄金山6078
- - フロントラインテクノロジー株式会社
    洗浄装置
  - 会社サイト創業: 2011年会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市高津区千年80-2千年大藤ビル2F
- - テクノワールド株式会社
    シリコンウエハー洗浄装置
  - 会社サイト創業: 2002年従業員数: 41人資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 栃木県佐野市赤坂町963-7番地
- - JAPAN BLUE株式会社
    半導体洗浄装置
  - 会社サイト創業: 2008年会社詳細
  - 住所: 京都府木津川市吐師中ノ中条52番地
- - 入江株式会社商社・代理店
    半導体洗浄一覧
  - 会社サイト創業: 1919年従業員数: 82人資本金: 45,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋本町4-5-14

半導体洗浄装置 2025年3月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年3月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	HUGパワー株式会社	17.5%
2	株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ	13.4%
3	株式会社ダン科学	9.9%
4	株式会社ゼビオス	9.7%
5	芝浦メカトロニクス株式会社	6.5%
6	ダイキンファインテック株式会社	5.9%
7	日本ゴア合同会社	5.1%
8	三益半導体工業株式会社	4.6%
9	サムコ株式会社	3.5%
10	株式会社エムテーシー	3.2%