マスフローコントローラ
メーカー24社【2025年】

マスフローコントローラについての概要、用途、原理などをご説明します。また、マスフローコントローラのメーカー24社一覧や企業ランキングも掲載しております。マスフローコントローラ関連企業の2025年3月注目ランキングは1位:株式会社リンテック、2位:コフロック株式会社、3位:株式会社プロテリアルとなっています。

マスフローコントローラとは？
マスフローコントローラのメーカー24社
マスフローコントローラ125製品

監修者: 早川栄二

博士研究員として大阪府立大学の装置工学グループで全固体電池のための正極複合粒子の製造に関する研究に従事。<> 長岡技術科学大学では、資源エネルギー循環研究室に所属し、CO2分離を目的としたDDR型ゼオライト膜の開発とそれを用いた下水処理場から発生する消化ガスからのCO2回収

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マスフローコントローラーとは

マスフローコントローラーとは、流体の流量計測を行い、流量を制御する機器です。

高度な流量制御が求められるプロセスの現場等で活用されています。マスフロー(mass flow)とは質量流量を意味します。流量には、体積流量と質量流量の2種類があります。マスフローセンサーは体積流量ではなく質量流量を測定の対象としています。

質量流量は流体の種類や特性・温度等の環境周囲の条件による影響を受けないため、体積圧力よりも精度良く流量の測定・制御ができます。

マスフローコントローラーの使用用途

マスフローコントローラーは、流量の測定に加えて、流体制御ができます。また、高精度で安定した制御ができるので、あらゆるプロセスの現場や実験室において使用されています。半導体の製造工程では、成膜やエッチングなどのプロセスにおいて活用されています。半導体以外にも光ファイバー、液晶、バイオなど使われている製品は多岐に渡ります。また、実験室では、分析機器でのキャリアガスなどの制御に用いられています。

マスフローコントローラーの原理

図1. マスフローコントローラーの原理

マスフローコントローラーは、センサー、バイパス、流体制御バルブ、電気回路から構成されます。流量センサーには熱式流量センサーが用いられていることが多いです。流体は、マスフローコントローラー内でセンサーとバイパスへ通されます。センサーでは、流体が通るチューブにヒーターが巻きつけられており、チューブの上流側と下流側に流れるガスの温度差を電気信号へと変換して、流量計測を行います。熱式質量センサーでは、センサー部に送ることができる流体の量に限界があります。

そのため、一部をセンサーへ流し、残りをバイパスに送ることで分流の比率を一定に保つことができるため流量が大きい場合でも、高い精度で流量を制御することができます。センサーで測定した流量を受けて、流体制御バルブで流量の調整を行います。流体制御バルブにはアクチュエータ（電気信号を物理的運動に変換する装置）として、ソレノイドアクチュエータ、サーマルアクチュエーター、ピエゾアクチュエータが使用されています。

マスフローコントローラーの選び方

マスフローコントローラーの選定のためにはガス種、最大流量、使用圧力の条件が必要です。マスフローコントローラーは使用するガス種に応じた設定をしているため、異なるガス種では正しく測定できません。

また、腐食性ガスの場合、シール材等は腐食耐性の高いものを選ぶ必要があります。マスフローコントローラーの流量制御範囲は一般的には2-100％ F.S.（最大流量）であるため、使用する流量に合わせた最大流量を選ぶ必要があります。マスフローコントローラーで使用される流量調整バルブはバルブ開度で流量を調整するため、一次側と二次側で圧力差が必要となります。一般的には50-300kPaが適正とされていますが、圧力差が大きすぎたりまたは小さすぎると正しく流量調整ができません。そのほかにも、制御する温度や継ぎ手なども場合によっては選定時に注意を払う必要があります。

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マスフローコントローラメーカー 24社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

【導入実績多数】スタンダードマスフローコントローラ　MODEL 3660 SERIES 注目製品
コフロック株式会社

■熱式巻線センサと高速応答ソレノイドバルブで、流量の精密な自動制御が可能！
■コンパクトなボディとコストパフォーマンスで導入実績多数！
■様々なガスや流量範囲に対応できる細やかなフレキシビリティを備える
■流量範囲：0.2SCCM～100SLM（N2換算）

【オゾン用】マスフローコントローラ注目製品
株式会社リンテック

・O3で業界初、1年間の製品保証
・周囲温度補償式センサにより、熱分解しやすいオゾンの流量制御が可能
・一次圧が低いオゾナイザーでも使用可能な低差圧オプション対応可能

- - コフロック株式会社メーカー
    マスフローコントローラ/メータ　製品一覧
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 197人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京田辺市草内当ノ木1-3
- 流体計測制御豊富なラインナップ熱式流量計
  
  コフロック株式会社は、1949年創業の流体計測制御機器/ガス発生装置メーカーです。
  本社を京都府京田辺市に置き、東京/大阪/名古屋/九州に営業拠点を設けています。
- - 株式会社リンテック
    マスフローコントローラ/マスフローメーター　一覧
  - 会社サイト創業: 1987年従業員数: 65人資本金: 98,000,000円会社詳細
  - 住所: 滋賀県大津市関津4-1-23
- 高温MFC 液化ガス制御液体MFC
  
  ■30年以上前から半導体業界や分析業界で採用されているマスフローメーカー
  ■世界に先駆けて液体マスフローの開発や、高温用、超低差圧など、特徴あるマスフローコントローラメーカー
- - 株式会社プロテリアルメーカー
    マスフローコントローラ一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1956年従業員数: 27,771人会社詳細
  - 住所: 東京都江東区豊洲5-6-36 豊洲プライムスクエア
- - 株式会社フジキンメーカー
    マスフローコントローラ製品シリーズ一覧
  - 会社サイト創業: 1954年従業員数: 4,307人会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区外神田1-18-13（秋葉原ダイビル）
- - 東京計装株式会社メーカー
    マスフローコントローラ
  - 会社サイト創業: 1954年従業員数: 650人資本金: 99,300,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区芝公園1-7-24芝東宝ビル
- - ビュルケルトジャパン株式会社メーカー
    マスフローコントローラ
  - 会社サイト創業: 1995年従業員数: 2,500人会社詳細
  - 住所: 東京都文京区水道1-12-15白鳥橋三笠ビル
- - センシリオン株式会社メーカー
    マスフローコントローラー
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-5-15　新横浜センタービル6F
- - ジーエルサイエンス株式会社メーカー
    マスフローコントローラー
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1968年従業員数: 436人資本金: 127,795,000円会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区西新宿六丁目22番1号新宿スクエアタワー30階
- - エフコン株式会社メーカー
    マスフローコントローラー(Mass Flow Controller)一覧
  - 会社サイト創業: 2013年従業員数: 9人会社詳細
  - 住所: 高知県南国市蛍が丘1丁目1番地1南国オフィスパークセンター109･110
- - アズビル金門株式会社メーカー
    マスフローコントローラ
  - 会社サイト創業: 1904年従業員数: 452人会社詳細
  - 住所: 東京都豊島区北大塚一丁目14番3号
- - ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメントメーカー
    マスフローコントローラー／メーター一覧
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都江東区北砂1-4-4
- - 株式会社クローネメーカー商社・代理店
    マスフローコントローラ
  - 会社サイト創業: 1980年資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都葛飾区東新小岩3-9-6
- - 日立Astemo＆ナガノ株式会社メーカー商社・代理店
    マスフローコントローラー一覧
  - 会社サイト創業: 1964年従業員数: 50人会社詳細
  - 住所: 東京都品川区東品川四丁目12番6号日立ソリューションズタワーB22階
- - 椿本興業株式会社
    マスフローコントローラ
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1916年従業員数: 736人資本金: 2,945,915,516円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市北区梅田3-3-20（明治安田生命大阪梅田ビル）
- - 株式会社旭精機
    マスフローコントローラ
  - 会社サイト創業: 1981年従業員数: 151人会社詳細
  - 住所: 福岡県大牟田市西宮浦町11番地16
- - 株式会社IBS
    マスフローコントローラー／メーター一覧
  - 会社サイト創業: 1997年従業員数: 105人会社詳細
  - 住所: 大阪府吹田市穂波町12番43号
- - 東フロコーポレーション株式会社
    フローコントローラ一覧
  - 会社サイト創業: 1973年従業員数: 170人資本金: 60,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都日野市南平4-3-17
- - 日本オートマティックコントロール株式会社
    マスフローコントローラ
  - 会社サイト創業: 1952年従業員数: 72人資本金: 60,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都品川区大崎1-6-4新大崎勧業ビル15F
- - ヨシオ電子株式会社
    フィールドネットワークコントローラ制御装置一覧
  - 会社サイト創業: 1973年会社詳細
  - 住所: 東京都東久留米市前沢3-13-1
- - ヘンミ計算尺株式会社
    マスフローコントローラ HM5300シリーズ
  - 会社サイト創業: 1953年従業員数: 80人会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区神田駿河台4-4
- - ブロンコスト・ジャパン株式会社
    気体用マスフローメータ/コントローラ一覧
  - 会社サイト従業員数: 6人会社詳細
  - 住所: 東京都江東区東陽5-27-5
- - 株式会社スプリード商社・代理店
    マスフローコントローラ
  - 会社サイト創業: 2005年会社詳細
  - 住所: 東京都稲城市大丸422-1
- - 日本スターテクノ株式会社商社・代理店
    マスフローメーター一覧
  - 会社サイト創業: 2002年会社詳細
  - 住所: 茨城県取手市取手3-4-20 中山ビル202
- - ヤマト科学株式会社商社・代理店
    高温対応デジタルマスフローコントローラ
  - 会社サイト創業: 1889年従業員数: 745人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都中央区晴海1-8-11晴海トリトンスクエアＹ棟36階

マスフローコントローラ 2025年3月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年3月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社リンテック	18.2%
2	コフロック株式会社	10.9%
3	株式会社プロテリアル	9.1%
4	株式会社フジキン	9.1%
5	東京計装株式会社	7.3%
6	ヤマト科学株式会社	5.5%
7	ブロンコスト・ジャパン株式会社	5.5%
8	ビュルケルトジャパン株式会社	5.5%
9	ヘンミ計算尺株式会社	5.5%
10	椿本興業株式会社	3.6%