マスフローコントローラの製品66点中、注目ランキング上位6点
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まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量レンジ | バルブタイプ | アクチュエータ方式 | 制御流量範囲 | 応答性 | 流量精度 | 再現性 | 耐圧 | 外部リーク | 使用可能温度範囲 | 設定/出力信号 | 温度影響 | 圧力影響 | 接ガス部材質 | シール部材質 | 駆動電源(MFC) | 駆動電源(MFM) | 接続継手 |
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C100L |
要見積もり | 10SCCM~50SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.2%F.S | 3.4MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション:RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 | バイトンorネオプレン選択 | 24VDC±10%500mA | 15~24VDC±10%30mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C100M |
要見積もり | 20~200SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.2%F.S | 3.4MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション:RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 | バイトンorネオプレン選択 | 24VDC±10%800mA | 15~24VDC±10%230mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C100M1 |
要見積もり | 201~300SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±2.0%F.S | ±0.2%F.S | 3.4MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション:RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 | バイトンorネオプレン選択 | 24VDC±10%1260mA | 15~24VDC±10%230mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C100H |
要見積もり | 100~500SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.2%F.S | 3.4MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション:RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 | バイトンorネオプレン選択 | 24VDC±10%1260mA | 15~24VDC±10%230mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C100H1 |
要見積もり | 501~800SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.2%F.S | 3.4MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション:RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 | バイトンorネオプレン選択 | 24VDC±10%1260mA | 15~24VDC±10%230mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C100H2 |
要見積もり | 801~1000SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.2%F.S | 3.4MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション:RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 | バイトンorネオプレン選択 | 24VDC±10%1260mA | 15~24VDC±10%230mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C100L-HP |
要見積もり | 10SCCM~20SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.2%F.S | 10.3MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション:RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 | バイトンorネオプレン選択 | 24VDC±10%800mA | - | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C140 |
要見積もり | 10SCCM~200SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.2%F.S | 3.4MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション:RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 | バイトンorネオプレン選択 | 24VDC±10%800mA | - | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C101 |
要見積もり | 4SCCM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.2%F.S | 3.4MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション:RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 | バイトンorネオプレン選択 | 24VDC±10%400mA | 15~24VDC±10%130mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C50L |
要見積もり | 20SCCM~50SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.25%F.S | 1MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | RS232or0~5VDC+RS232or4~20mA+RS232orRS485選択 | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316Lorアルミ選択、バイトン | バイトン | 24VDC±10%315mARS485:130mA | 15~24VDC±10%85mA | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||
C50M |
要見積もり | 50~200SLPM | NC:ノーマルクローズ | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | 2~100%F.S | 2sec(設定値の±2%以内) | ±1.0%F.S | ±0.25%F.S | 1MPa(G) | 5×10-10Pa・m3/secHe | 0~50℃ | RS232or0~5VDC+RS232or4~20mA+RS232orRS485選択 | ±0.05%/℃F.S | ±0.0015%/kPaF.S | SUS316Lorアルミ選択、バイトン | バイトン | 24VDC±10%850mARS485:130mA | - | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
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