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位置決めステージのメーカー27社一覧や企業ランキングを掲載中！位置決めステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:エヌピイエス株式会社、3位:株式会社マシンエンジニアリングとなっています。 位置決めステージの概要、用途、原理もチェック！
位置決めステージ (英: positioning stage) とは、位置決めが可能な台のことです。
モータとボールネジなどを組み合わせた構造が多く使われ、位置決めステージは、移動する部分です。位置決めステージは、精密な位置決めを行うことができます。
半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されます。xyステージは、2次元で自由な動きを可能にするなど、ステージの種類によって特性を活かした用途で使用されます。
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2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
12.9%
|
| 2 | エヌピイエス株式会社 |
9.7%
|
| 3 | 株式会社マシンエンジニアリング |
9.7%
|
| 4 | THKプレシジョン株式会社 |
9.7%
|
| 5 | CKD日機電装株式会社 |
6.5%
|
| 6 | 株式会社三共製作所 |
6.5%
|
| 7 | 株式会社大和テクノシステムズ |
6.5%
|
| 8 | エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社 |
3.2%
|
| 9 | 株式会社MSAファクトリー |
3.2%
|
| 10 | ヒーハイスト株式会社 |
3.2%
|
項目別
使用用途
#測定
#検査
#光学機器
#研究開発
#微細加工
#画像処理
駆動方式
モータ駆動型
手動駆動型
空気駆動型
ハイブリッド型
構造
X軸移動型
XY軸移動型
XYZ軸移動型
精度
高精度型
特徴
高耐久型
高速型
自動調整型
移動範囲 mm
0 - 1
1 - 10
10 - 50
50 - 100
100 - 500
繰り返し位置決め精度 μm
0 - 1
1 - 2
耐荷重 N
0 - 100
100 - 500
最高速度 mm/秒
0 - 10
10 - 100
100 - 500
500 - 1,000
真直度 μm
0 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 5
分解能 nm
0 - 1
1 - 2
4 - 5
143 点の製品がみつかりました
143 点の製品
オリムベクスタ株式会社
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＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
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オリムベクスタ株式会社
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＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
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＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
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＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
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オリムベクスタ株式会社
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＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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■製品特徴 ・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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■製品概要 PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ210mm×210mm移動...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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摩擦がなく、インデックス作成、位置決め、スキャン、測定技術に最適。PIglide RMシリーズの電動回転ステージは、精度、精度、高剛性、...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・移動範囲305mm×305mm (12'') ・0.05µmまでの一方向の再現性 ・速度90mm/sまで ・2相ステッピングモーターまたはDCモーター ・...
株式会社日本レーザー
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返信の比較的早い企業
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高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性対応。高精度アライメント用途などのナノポジショナーとして産業分野での...
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株式会社日本レーザー
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■電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等) Newport社では、さまざまな用途でご利用いただけるよう、直進ステージ、...
株式会社日本レーザー
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■電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等) Newport社では、さまざまな用途でご利用いただけるよう、直進ステージ、...
株式会社工苑
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ナノモーションの標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モ...
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ツクモ工学株式会社
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■概要 ・自動Z軸ステージは、ステージ面を水平に保持し、モーター駆動によりZ軸方向へ移動・微調整が可能な制御式のZ軸ステージです。 ...
神津精機株式会社
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■備考・特徴 ・新製品 低価格・高精度・短納期を実現した『SXステージ』シリーズです。 ・精密クロスローラガイドを使用したロングスト...
神津精機株式会社
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■備考・特徴 ・新製品 低価格・高精度・短納期を実現した『SXステージ』シリーズです。 ・精密クロスローラガイドを使用したロングスト...
神津精機株式会社
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神津精機株式会社
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■備考・特徴 ・新製品 低価格・高精度・短納期を実現した『SXステージ』シリーズです。 ・精密クロスローラガイドを使用したロングスト...
神津精機株式会社
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■備考・特徴 ・新製品 低価格・高精度・短納期を実現した『SXステージ』シリーズです。 ・精密クロスローラガイドを使用したロングスト...
ワイヤード株式会社
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
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従来のLMガイドと違いアウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステー...
ワイヤード株式会社
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
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従来のLMガイドと違いアウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステー...
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
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TSA160-θはφ102mmの透過穴と厚さ44mmの薄型をコンセプトに設計された自動大型回転ステージです。
ワイヤード株式会社
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■特徴 ・テーブル20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ ・小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い精密クロスローラ...
ワイヤード株式会社
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
THKプレシジョン株式会社
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1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ ■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視...
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光学ミラーの角度微調整用に設計したステージです。高速振動や高い位置再現性に優れており、レーザ光スキャニング、ミラー精密アライメ...
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精密切削におけるナノ、マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク (加工対象物) を高速、高精度に位置制御できます...
THKプレシジョン株式会社
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数mm～数十mmのストロークを20～40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®...
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数mm～数十mmのストロークを20～40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®...
岡本機工株式会社
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■特徴 ・ラック＆ピニオン駆動により、高精度な位置決めが可能。 (ボールネジ駆動タイプも可能ですが、その場合の移動ストロークは2,000...
位置決めステージ (英: positioning stage) とは、位置決めが可能な台のことです。
モータとボールネジなどを組み合わせた構造が多く使われ、位置決めステージは、移動する部分です。位置決めステージは、精密な位置決めを行うことができます。
半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されます。xyステージは、2次元で自由な動きを可能にするなど、ステージの種類によって特性を活かした用途で使用されます。
位置決めステージは、精密機器の分野において位置決めを行うために使用されます。具体的には、半導体やプリント基板などの分野で、検査・加工装置用、露光・高精度検査装置用、ウエハ・基板の高速位置決めなどの用途です。
また、液晶の検査装置、レーザー関連装置、基板の移載装置・精密検査装置、基板と加工ヘッドの高精度位置決め、カメラやファイバのアライメント、試料の検査・分析治具などにも用いられます。ステージを目標位置に分解能単位で精密に移動させることで、定められた加工・検査・移動などが可能になります。
位置決め装置は、駆動するアクチュエータ、アクチュエータが動作するための信号を制御する制御装置、移動体であるステージ、ステージを支えるガイドなどから構成されます。高い精度を保持しながら高速で作業を行えるように、移動体である位置決めステージの振動などが小さくなるよう特性や制御機能を充実させなければなりません。
閉ループ制御やオープンループ制御、セミクローズド制御などの制御方式を用いることで、ステージの移動誤差を計測して目標位置に部品を移動させます。この際、アッベの原理を利用して測定誤差を小さくします。アッベの原理とは、「測定精度を高めるためには、測定対象物と測定器具の目盛を測定方向の同一線上に配置しなければならない」ことです。
位置決めステージには、1軸型、2軸直交型、3軸直交型、回転型、組合わせ型などがあります。
1軸型は、最もシンプルな構成で、x1方向のみの移動が可能です。縦方向のz型もあります。2軸直交型は、xy2方向またはx方向とz方向に移動できるタイプです。
3軸直交型は水平xy2方向に、縦z方向を加えたもので、構造が複雑です。
回転型は、回転運動θのみが可能なタイプです。組合せ型は、回転型に1軸・2軸の移動を加えたx-θ,z-θ,xy-θ型などです。
回転モータと組む合わせて、多く使われます。ボールがねじ溝を循環することで、摺動ねじに比べ大幅に摩擦が減り、軽く動きます。
リニアガイドは、ステージを支持するガイドです。アリ溝、クロスローラ、ローラウェイ、ボールウェイ、ボールブッシュ、回転ベアリングなど、多くの種類があります。
移動精度に優れ、耐荷重が大きく、剛性が高い方式を選択する必要があります。
位置決めステージの制御装置には、オープンループ制御、セミクローズド制御、フルクローズド制御などが使用されます。
ステージの位置決めをする方法は、間欠位置決め方式と連続位置決め方式があります。間欠位置決め方式はある地点から出発して、途中の経路や時間を問わないで、目標の地点に停止させる方法です。
連続位置決め方式は、移動途中の経路や時間を測定しながら、目標点に停止させる方法です。
位置決めステージの駆動は、回転モータ、リニアモータが主力です。圧電素子を使う方法もあります。空気や油圧を使う方法は、少なくなっています。
回転モータ
回転モータは、サーボモータとボールねじの組み合わせが多く使われます。
リニアモータ
リニアモータには多くの利点があり、具体的には高速が可能でコンタミの問題がないこと、構造が簡単で騒音が少なくなることなどが挙げられます。
そのほか、剛性も大きくできます。ただし、ステージの位置検出が必要でコスト高の要因になるのが欠点です。また、発熱が大きいので冷却装置が必要になる場合があります。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/77/7/77_7_656/_pdf
https://www.ntn.co.jp/japan/products/catalog/pdf/6104.pdf
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